微细加工技术期刊
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微细加工技术

Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位:
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉:
国家一级检索刊物用刊  美国工程信息公司Ei数据库收录 
ISSN:
1003-8213
CN:
43-1140/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
地址:
湖南省长沙市
出版文献量(篇)
672
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2
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4940
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  • 作者: 任胜先 方光荣
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  1-4,33
    摘要: 为满足快速扫描大面积图形的需要,设计了基于扫描电镜的高速图形检测系统.该系统采用快速硬件扫描方式来提高图形检测的速度,可应用于对芯片质量、内部线路状况的检测.介绍了以现场可编程逻辑门阵列(F...
  • 作者: 司卫华 董晓文 顾文琪
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  5-8
    摘要: 概述了紫外压印的原理及其优点,并通过对紫外压印模版特殊性的分析,提出了两种紫外压印模版的制作.用反应离子刻蚀法制作了玻璃模版,用浇灌法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)模版,最后给出了实验过程...
  • 作者: 刘治华 孟令启 杨杰伟 王春丽
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  9-12
    摘要: 为了测试微观条件下材料表面的摩擦学性能,给出了一种微摩擦力的光学测试方法.基于MEMS工艺制作了硅微力传感器,通过标定的方法得到了微力与传感器的变形量之间的关系,采用光反射的方法测量了试验过...
  • 作者: 周崇喜 姚汉民 张晓玉 邢廷文
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  13-15,33
    摘要: 为分析和解决商业用SU-8胶在355 nm波长的吸收性和后烘缩胶等问题,先采用柱层析对SU-8环氧树脂进行分离,然后进一步用高压液相色谱-尺寸排阻色谱法对SU-8环氧树脂进行分离和分析.结果...
  • 作者: 李勇 程秀兰
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  16-19
    摘要: IP胶亲水性较差,在显影时易造成显影不完全.介绍了一种在显影前适当增加等离子体表面预处理,以提高IP胶表面微粗糙度,进而改善IP胶显影特性的方法.研究表明,这种方法可有效地提高IP胶的亲水性...
  • 作者: 周嘉 王军军 王锡明
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  20-23
    摘要: 建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式.在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性.所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果...
  • 作者: 刘波 吴一辉 张平 贾宏光 马波
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  24-27
    摘要: 应用脉冲电镀法在硅片上制备细晶粒镍铁合金薄膜,对电镀工艺参数与形成的沉积层的微观组织关系进行了探讨.通过改变脉冲电源的电参数来研究其对镀层结构和微观形貌的影响.运用扫描电子显微镜(SEM)和...
  • 作者: 孙云 李禾 杜楠 王应民 程国安 蔡莉
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  28-33
    摘要: 报道了在等离子体作用下,以CO2/H2为氧源,Zn(C2H5)2为锌源,N2为载气,在Si(111)衬底上采用自行设计等离子体化学气相沉积(PECVD)装置来生长的ZnO薄膜.采用X射线衍射...
  • 作者: 孙传伟 孙莉莉 庄惠照 王福学 艾玉杰 薛成山
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  34-35,40
    摘要: 通过在1 000℃时氨化Ga2O3/MgO/Si(111)薄膜15 min,制备出成簇生长的光滑的长直线状GaN.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和高分辨率电子显微镜(HRT...
  • 作者: 孔德义 汪小华 诸建彬 齐永光
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  36-40
    摘要: 通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构.有限元仿真结果表明,该硅梁升温迅速且温度分布均匀,能实现对纳克量级梯恩梯的检测....
  • 作者: 崔大付 许立宁
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  41-44,48
    摘要: 介绍了一种能够实现微量样品精确供给的压电微喷.该微喷利用压电陶瓷围成液体腔,通过厚度切变振动产生压力波,使液滴喷射.从理论推导、有限元模拟、实际测量三个方面研究了微喷的性能,三者得出的谐振基...
  • 作者: 刘明 张庆钊 朱效立 李兵 谢常青
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  45-48
    摘要: 用Cl2,HBr,O2和CF4为反应气体,对多晶硅栅进行了刻蚀试验,并借助X射线能谱仪器Energy Dispersive X-ray Spectrometry(EDS)进行试验样品的化学成...
  • 作者: 丁桂甫 朱军 杨春生 蔡炳初 贾书海 赵小林
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  49-51
    摘要: 光开关中运动元件的磨损对光学元件的位置精度有重要影响.介绍了MEMS微电磁驱动器磨损对光开关光学性能影响的理论分析,采用光纤光学理论计算了磨损所引起的光开关的附加插入损耗,结果表明,所采用的...
  • 作者: 曲宁松 朱荻 王明环 王磊
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  52-56,64
    摘要: 基于微细电解加工理论,采用微细圆柱群电极进行了微细群孔电解加工工艺试验,研究了加工电压、脉冲宽度、电解液浓度、成分等因素对群孔加工精度的影响.结果表明,减小加工电压和脉冲宽度,采用低浓度钝化...
  • 作者: 文玉华 李宁 李忠丽 李翔龙
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  57-59,64
    摘要: 采用电火花腐蚀的方法制备了Ni粉.通过X射线衍射、扫描电子显微镜和激光粒度分析仪对不同电流制备的Ni粉的组成、形貌、粒度及其分布进行了分析,结果表明,颗粒的相组成绝大部分是金属Ni,颗粒呈球...
  • 作者: 侯中宇 张亚非 徐东 蔡炳初 魏星
    刊名: 微细加工技术
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  60-64
    摘要: 采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%~12%...

微细加工技术基本信息

刊名 微细加工技术 主编
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主办单位 中国电子科技集团公司第48研究所  主管单位
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