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微细加工技术2007年第3期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 提出了实现电子束光刻的快速邻近效应校正的分级模型.首先利用矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换,然后对内部最大矩形和顶点矩形进行校正迭代.在校正迭代的过程中,用局部曝光窗口与曝光强度分布...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较.结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 为了进一步挖掘传统光学曝光的潜力、扩展其应用范围、提高其曝光效率,对GCA3600F光学图形发生器数据处理技术开展了研究,其中包括对曝光数据的优化处理技术以及复杂图形切割算法的研究,并编制了...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 浸没式ArF曝光系统在最后一面物镜和晶圆之间引入液体作为成像介质.曝光过程中,液体存在热分布变化,并引起液体折射率的改变,导致光刻性能下降,因此,有必要确定液体热分布变化的情况.应用有限元方...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台.该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统和承片台子系统组成....
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 提出了一种采用248 nm准分子激光直写微加工系统制备聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基毛细管电泳芯片的新方法.主要对毛细管电泳芯片的样品池和微通道进行了实验研究.在19 kV,20 Hz,50...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素.通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度.叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究.采用Dimension 3100型扫描探针显...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍.对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点.
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10. 光敏微晶玻璃微流控芯片材料制备刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 以具有良好的光化学加工性能的光敏微晶玻璃作为芯片材料对于简化微流控芯片制备工艺、降低芯片制备成本具有重要意义.基于这一点,利用XRD和SEM技术,研究了不同制备方法、不同玻璃组分对玻璃光化学...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 以乙基纤维素和聚乙烯为壳材料,热敏变色材料氯化钴为芯材料,Span80为乳化剂,采用油相分离法,对热敏变色材料氯化钴进行高分子材料包覆,制备了polyethylene/ethyl cellu...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低应力薄膜的影响因素,通过改变反应气体(SiH4,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 为了减小植入损伤,提高神经微电极刺激或记录的空间密度,提出了一种基于聚合物基质材料的植入式双面柔性神经微电极的制作工艺和方法.该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)作为微电极...
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14. 硅微机械二维倾角传感器结构设计刊名： 微细加工技术发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 提出了一种结构简单,制造工艺容易实现的硅微机械二维倾角传感器结构设计,它由蝶形质量块和连接它们的四个成十字形的硅应变梁以及具有过载限位保护功能的硼硅玻璃衬底构成.传感器能同时检测出绕两轴的倾...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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