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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
出版文献量（篇）
2692
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2 薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品,并对样品进行了220～500℃温度的热处理,通过X射线衍射(XRD)以及UV-Vis分光光度计等测试手段对热处理前后...
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2. 脉冲电弧源的发射特性建模刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 脉冲电弧源是脉冲电弧离子镀方法制备薄膜的重要部件,其发射特性是影响薄膜均匀性的重要因素.本文从理论出发,建立脉冲电弧源发射特性的数学模型,编程计算得到理论的均匀性曲线,与实际的沉积薄膜厚度的...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 介绍了射频电感耦合等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术的原理、实验性能.并用该技术在Si基片上沉积了Cu膜,研究了所成膜的结构、表面形貌及膜成分等,分析结果表明在该条件下沉积的Cu膜致密,晶粒...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 磁控溅射法在玻璃衬底上制备了AZO(氧化锌掺铝)薄膜.对薄膜进行了真空退火.利用XRD、分光光度计以及四探针等测试装置,对AZO薄膜的晶粒度、透光率和导电性能进行了测试分析.结果表明,退火有...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 本文研究了在射频等离子体增强化学气相沉积工艺中不同的预处理方法对不锈钢基底上类金刚石碳膜生长的影响.所沉积的碳膜的结构和形貌分别用激光Raman光谱和扫描电子显微镜进行了分析,薄膜与基底的结...
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6. 复合薄膜研究的进展刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 复合薄膜材料由于具有传统复合材料和薄膜材料两者的优点,正成为复合材料的重要分支而越来越引起广泛的重视和深入的研究.它可以把各层薄膜材料的优异性能结合起来,从而克服各自的弱点,达到特定的应用目...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 利用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯N2气为反应气体,在Si衬底上制备出了Si3N4薄膜,研究了气体流量比对薄膜质量的影响.结果表明,薄膜的沉积速率主要与气体的流量比有关,随着气体...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 回顾了真空冶金中曾经使用过的各种真空熔铸设备与方法,结合目前国内用于铸钛工业生产的最大容量真空自耗电极电弧凝壳炉(260 kg),对工艺、设备特点、系统硬件、软件等采用机电一体化技术的情况进...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 在生产条件下制备Tb0.3Dy0.7Fe2定向凝固合金的新工艺包括:利用真空悬浮熔炼技术为定向凝固提供杂质水平低,成分均匀,一致性好的优质铸造母合金棒;为了保证定向凝固过程的平稳性,发展了二...
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10. 真空下生成低价氟化铝的热力学分析刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 本文从热力学角度引入"物质吉布斯自由函数行列式法"讨论在不同压力下氧化铝、氟化铝与还原剂碳的反应生成低价氟化物(AlF)的条件.研究表明在常压下反应在2100 K以上发生;而在真空度为350...
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11. 铬及铍表面辉光放电清洗的研究刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 本文对He辉光放电清洗后的铬(Cr)表面杂质去除情况和铍(Be)样品真空出气量变化进行了实验研究.使用场发射扫描电镜和表面质量测量仪对比观察了不同放电参数处理后的Cr样品表面,结果显示在放电...
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12. 银丝的真空密封性能研究刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 研究的对象是用于超高真空密封的银丝.通过实验先得出银丝的热处理工艺和其硬度的关系,然后选择几种典型的热处理工艺(对应几种典型的硬度数值)处理银丝,再用这几组银丝进行密封性能实验,根据实验结果...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 本文分析了陶瓷-金属封接中二次金属化镀层厚度对陶瓷-金属封接质量的影响,提出采用X射线荧光光谱法(XRF)对二次金属化镀层厚度进行无损检测,分析了二次金属化镀层成分与含量,对二次金属化镀层的...
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14. 宽束射频离子源匹配网络刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 介绍宽束射频离子源原理及结构,分析射频匹配网络中调谐和负载电容与输入频率、离子源电阻、传输线特征阻抗、支路电感的关系,导出了射频离子源阻抗公式.
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刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求.
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16. 罗茨真空泵试车与运行刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 介绍了干气提浓装置变压吸附工序中抽真空设备罗茨真空泵,通过对罗茨真空泵气密、试车、运行过程中出现问题的讨论,提出一些解决办法和改进措施,确保泵组的安全平稳运行以及装置的长周期运转.
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17. 第十四讲:真空工程用焊接技术刊名： 真空发表期刊： 2006年5期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
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