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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文简述了前苏联20世纪40年代以来,对于蒸汽的凝结和真空冷冻干燥技术及设备的研究与应用情况,还详细介绍了几种升华干燥设备及其计算方法和实例.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 真空冷冻干燥机在运行时产生较高的能耗.本文在概述真空冷冻干燥技术的基本原理和干燥过程的基础上,分析了影响真空冷冻干燥速率的主要因素,提出有效降低真空冷冻干燥机能耗的途径为:改变物料的形态和浓...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 为实现电冰箱整机、空调器及蒸发器和冷凝器等部件在流水线上焊接工序后进行快速检漏和氦气的循环利用,研发了真空检漏回收装置监控系统.该系统采用上下位机控制模式,上位机采用工控机+组态软件,下位机...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 航天器推进系统的单机产品的漏率测试往往采用氦质谱真空室检漏法,研究该方法测量结果的不确定度评定具有重要的工程应用价值.本文首先对真空室检漏法的原理进行了分析探讨,并从不确定的基础理论出发系统...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 大型真空系统检漏往往耗时长、效率低.本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律,并据此建立检漏信号数学模型,确定漏孔的最终稳态泄漏信号.基于上述分析,提出漏孔漏率的一种快速预测...
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6. 真空压力浸漆的自动化研究刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 通过对现有真空浸漆工艺的研究,发现浸漆的过程中有一部分可以按程式化进行.其操作工艺相对固定,这一部分浸漆过程可以实现程序的自动运行.为了实现这一目的,更加方便而有效率的完成生产任务,通过运用...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文提出卷对卷纳米压印脱模的两种形式并分析了脱模过程中的阻力.选取垂直于光栅形微结构的截面作为研究对象,忽略脱模过程中旋转角度的影响,将模板上微结构当作竖直平移脱离胶层的方式来处理,利用AN...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文以我公司首台进口的油淬气冷多用真空热处理炉的现场检漏分析为例,介绍了在没有专用检漏仪器的情况下,以理论分析判断为主的检漏方法,以及对真空热处理炉现场检漏的相关理论和注意事项进行了论述.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 0Cr15Ni5Cu2Ti不锈钢基材表面多弧离子镀方法制备TiN硬质涂层.工件表面镀膜处理技术的关键是膜/基结合强度.分析预热温度和工作偏压对膜层的膜/基结合强度、膜层结构及表面硬度的影响,...
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10. PECVD反应室的气流场模拟分析刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文利用计算流体力学(CFD)方法对某等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)反应室流场进行了数值模拟研究,通...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射技术在200℃成功制备出多晶硅薄膜.详细介绍了等离子体源辅助磁控溅射技术制备多晶硅的工艺过程,并对辅助等离子体源放电功率对硅薄膜结晶度的影响进行了...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶法,通过调整氯化锂和氯化铜的摩尔比在不同基片上制备了不同Li-Cu共掺杂浓度的ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、紫外可见光分光光度计和伏安特性测试等...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 在常温下,采用射频反应磁控溅射方法在不同溅射功率下于K9双面抛光玻璃基底上制备二氧化钛薄膜.将制备的样品进行450℃退火6h热处理.利用X射线衍射仪(XRD)对比分析了退火前后薄膜的微观结构...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文主要研究AlGaN/GaN二极管制备工艺中Ohmic Contact金属和Schottky Contact金属电极的制备,主要讨论了金属电极材料的选取,退火温度和退火时间对接触电阻的影响...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 采用化学水浴法在玻璃衬底上制备纯的和稀土Dy掺杂的CdS薄膜,并在N2气氛中,对以上制备的薄膜进行T=350℃、t=40min的热处理.实验结果表明,水浴温度在70℃～80℃间制备的CdS薄...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 根据系统抽真空要求,完成管路设计选型与抽空能力计算.针对混和型介质及系统防火防爆的特点,优先选用干式真空泵.通过搭建真空管路系统,针对不同抽速真空泵、不同管路长度、不同抽空容器、不同混和介质...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 设计实现了一种新型自动深冷及活化分子筛的吸附泵.进行了吸附能力设计,采用基于PLC(可编程逻辑控制器)软硬件为核心的电气系统,方便地实现了对分子筛吸附泵的液氮自动输送以维持液氮量及分子筛活化...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 气冷式罗茨真空泵的噪声主要由机械噪声和气动噪声组成,气动噪声具有强度高、危害大的特点,是气冷式罗茨真空泵的主要噪声.应用FLUENT软件动态模拟泵的内部流场,对两叶、三叶转子的气冷式罗茨真空...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文通过对用于万吨级海水淡化的大型蒸汽喷射压缩器(TVC泵)进行模拟工作环境的实物试验,研究操作工况及喷嘴结构参数对喷射泵性能的影响规律,为设计适用于低温多效蒸发海水淡化工程工况的性能优良和...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 分别采用标准κ-ε模型、重整化群(RNG)κ-ε模型和可实现的(Realizable)κ-ε模型对某喷嘴型真空高压气淬淬火过程进行了数值模拟.结果表明:通过合理选择湍流模型,可以通过数值模拟...
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21. 氟磷酸钙真空碳热还原反应机理刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 在真空条件下,本文采用热力学分析、XRD及化学分析等方法与手段,对SiO2在氟磷酸钙碳热还原制磷的过程进行了研究,考察了SiO2的添加量对磷矿还原率的影响.通过热力学研究,在压力100Pa温...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 本文介绍了新型槽式太阳能集热装置,着重对该集热装置集热性能进行了研究及分析,并对集热装置进行热性能试验,提出系统优化设计方案.结果表明该新型槽式太阳能集热装置具有较高的集热温度和较高的集热效...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 真空环境内金属电极放电产生的等离子体不同于气体放电等离子体,具有特殊的性质.本实验采用持续时间为10μs,幅值约600A的指数变化的脉冲电源进行放电；运用朗缪尔探针法对放电生成的等离子体的相...
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24. 第十七讲 薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2012年3期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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