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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 针对某小型涡轮分子泵的涡轮级,采用数值仿真方法分析了静叶片的结构参数与抽速和压缩比的关系,计算了叶片成型过程中应力分布,研究了叶片扭转成型工艺.经过样品试制,达到了设计指标要求,验证了本文提...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 本文研究了用于表征微悬臂梁动态特性的高真空系统,研究了用于夹持微悬臂器件的样品台和用于调节真空室内压力的精密可调漏气阀.该阀在不同压力区间下采取机械机构和压电陶瓷驱动器改变阀门开度,具有精度...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 根据多年火电机组真空泄漏检测经验,分析大型空冷机组真空泄漏产生的原因,通过研究氦质谱检测技术和超声波检测技术,归纳总结出大型空冷机组真空泄漏诊断技术,并在大型空冷机组应用,消除真空系统泄漏,...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 螺杆转子是螺杆真空泵的内核部分,转子型线的优劣直接影响到泵的整体性能、运行的稳定可靠以及制造成本.本文基于螺杆啮合原理,得到单头等螺距梯形内凹型线的完整型线方程,利用UG表达式创建出截面型线...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 机器噪声源定位是机器低噪声设计的基础.本文以真空行业广为使用的罗茨真空机组为对象,并在机组的周围对应各主要部位布置测点,利用声压法并逐级定位的方法,采用手持式精密噪声分析仪对各测点进行噪声测...
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6. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 本文以真空喷射法制备聚合物薄膜为研究背景,对其重要的发生元件喷嘴进行了选型研究.现阶段应用最为广泛的直射式喷嘴有直线型、锥形、锥直型和抛物线型四种类型,通过Fluent软件对喷嘴喷射后的液体...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 某抗生素原料药的生产过程中,用传统工艺的水环真空泵分离二氯甲烷,其能耗高、厂区化学气味重;而对爪型干式真空泵+冷凝器分离回收二氯甲烷进行实验的结果显示:电耗节约32％,废气排放基本为零,厂区...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 采用离子束辅助中频反应磁控溅射技术在单晶硅及YG6硬质合金基体上沉积AlN薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度计、薄膜结合强度划痕试验仪等对薄膜结构及性能进行...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在蓝宝石基片上制备ZnO:Eu薄膜,通过X射线衍射仪和荧光分光光度计等测试其晶体结构和发光特性,分析退火对薄膜晶体结构和发光特性的影响.结果表明,ZnO:Eu薄膜为C轴择优...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 为了研究添加粘接层对复合涂层的影响,采用脉冲反应溅射在316L不锈钢基体上制备了调制周期为700 nm左右(5层)的Y2O3/Er2O3复合涂层,通过调整氧氩比制备了不饱和氧化钇(YOx,x...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 将单质Cu、In和S粉末按一定比例均匀混合,单源共蒸发沉积CuInS2薄膜.氮气保护对薄膜进行热处理.研究不同热处理条件对薄膜表面形貌、化学组分及电学特性的影响.XRD分析给出直接沉积的Cu...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 论述了短波通滤光膜的设计原理和计算方法,根据等效折射率和周期性对称膜系的理论,结合短波通滤光膜的技术要求,采用二氧化钛和二氧化硅作为高折射率材料和低折射率材料,计算出短波通滤光膜所需要的周期...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 通过激活能测试装置测量VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能,结果表明:在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜,晶化处于非晶-微晶相变域附近,激活能都偏低,存在氧污染问题,研究了氧...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 以高纯石墨为靶材、氩气(Ar)和甲烷(CH4)为辅助气体,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同气体压强比例下制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、拉曼光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、纳米压痕测...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 新型纳米氧化铜不同于常规氧化铜,具有新颖的形貌和结构,其中包括氧化铜纳米颗粒、氧化铜纳米棒、氧化铜纳米片和氧化铜纳米梭等.新型纳米氧化铜具有优异的物理和化学性质,在众多领域里显示出广阔的应用...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 以N2为P型掺杂源,利用射频磁控溅射技术,通过改变O2:N2比制备了不同N掺杂量的P型ZnO薄膜,详细研究分析了N掺杂ZnO薄膜的PL谱及电学性能.结果表明,随着O2:N2的变化,不仅薄膜的...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 本文根据作者多年从事真空熔炼直流供电电源的设计与现场调试体会,探讨影响真空自耗电极熔炼炉供电直流电源电压与电流稳定性的因素,重点分析了坩埚比对电压和电流稳定性的影响,提出了合理的坩埚比建议,...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 本文针对L200+型检漏仪检漏数据无法自动存储、无法显示数据变化趋势等不足,在面向对象的开发环境利用MSComm控件实现计算机和检漏仪的串口通讯.在此基础上设计并完成了L200+型氦质谱检漏...
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20. 真空冷冻干燥过程神经网络模拟研究刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 真空冷冻干燥能够最好的保证干燥后产品质量,但干燥成本高已成为真空冷冻干燥技术大规模工业应用的技术瓶颈.因此利用BP神经网络理论对真空冷冻干燥过程进行了模拟研究,结果表明,BP神经网络能较精确...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 真空绝热板是近几年发展起来的一种超级绝热材料,其内部真空度的保持是维持其低导热系数的关键因素.真空绝热板中的表面隔膜及内部芯材的真空出气是破坏板内部真空环境引起其绝热性能下降的主要原因之一,...
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22. 电真空用金属零件的去油方法刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 组成电真空器件的金属零件在机加等过程中表面要沾污到一些油污,如果零件没有得到有效的去油清洗,带有残留污染物的零件装配到高真空环境中,可能成为大量气体和蒸气的来源,影响器件的真空度和使用寿命....
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23. 气体放电平板灯的发光效率研究刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要： 气体放电灯是第三代光源,由于其发光效率高、寿命长、发光均匀稳定而成为市场主流.气体放电平板灯是气体放电灯的一个重要方向,但较低的发光效率限制了其使用.本文研究了影响气体放电平板灯的主要因素....
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24. 第十七讲薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2012年6期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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