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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 基于小圆形平面靶倾斜磁控溅射的实际情况,针对靶材环形刻蚀槽与水平工件台存在夹角的特点,建立数学模型.利用MATLAB软件进行模拟仿真,研究靶材与工件台正对且高度固定时,不同夹角对膜厚分布的影...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)工艺制备了La2Zr2O7(LZ)、La2Zr2O7-3wt.％Y2O3(LZ3Y)、La2(Zr0.7Ce0.3)2O7(LZ7C3)和6～8wt.％...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 针对传统制铝技术,为提高膜层结合力、阻隔性,采用射频磁控溅射镀铝工艺,制备纯铝高阻隔性膜层,在PET塑料薄膜表面沉积纯铝的实验.通过对射频电源功率和溅射气压等参数的改变,探究射频功率、溅射气...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 干涉滤光片广泛应用于荧光检测分析仪器中,是仪器的核心光学元件.行业标准JB/T 13360—2018《荧光检测分析用干涉滤光片》对这类荧光滤光片产品的各项要求进行了系统规定.本文针对该标准中...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展,阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数,分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,指出...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 本文介绍了一种超高真空大抽速复合分子泵的研制,该型分子泵转子采用了涡轮叶片与螺旋槽式牵引级的复合结构,由整体加工而成.文中重点介绍了复合转子的设计及优化,并对定片隔环一体型结构与复合底盘结构...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： KM6空间环境模拟器(简称"KM6容器")作为我国载人航天事业重要的大型试验设备已服役超过20年,完成了100次系统级真空热试验.粗抽真空系统是KM6容器重要的组成部分之一,主要作用是将KM...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 某大型风洞试验气体温度高、流量大,对真空排气设备要求高,传统风洞用真空排气设备无法满足要求,为达到减小规模、降低成本的目的,首次将大排量、高转速离心真空泵应用于风洞试验设备.本文根据风洞试验...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 在230MeV超导回旋加速器调束的过程中,需要对束流的大小形状和对中情况进行测量分析,束流测量装置可以满足上述要求.本装置利用径向靶和包络靶可以测量半径150mm到850mm范围内的束流,采...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 随着半导体器件封装向小型化、高密度化、高可靠性的方向发展,半导体等行业对钎焊热场提出了高温度均匀性的要求.本文以半导体器件钎焊设备为研究对象,利用有限元仿真技术分析炉体内部温度场分布及其变化...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 针对金属多孔材料真空烧结炉的工艺和控制要求,对原有控制系统进行了改造.采用工控机作为上位机并组态监控人机界面,可编程控制器(PLC)和温控仪作为下位机进行程序设计,提高原有系统运行的可靠性、...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 介绍了一种具有广泛应用前景的新型等离子体源—螺旋波等离子体源,其特点是结构简单,可以产生高密度的等离子体.论文首先简述了螺旋波等离子体产生基本原理,并对螺旋波等离子体源的结构、加热机制以及天...
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14. 模糊神经网络锅炉温度控制系统刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 采用模糊神经网络和PID控制相结合的控制方式,设计了一种现代电站锅炉的温度监测系统.通过BP模糊神经网络实现对数据的模糊化处理,再通过PID控制器调节,最终实现对温度实时控制,利用Simul...
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15. 微米级裂纹对水冷无氧铜坩埚的影响刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 本文主要使用了电子束物理气相沉积、扫描电子显微术、X射线衍射和有限元模拟等技术手段研究了微米级微裂纹对水冷无氧铜坩埚失效的影响.有限元模拟显示在使用过程中水冷铜坩埚的温度分布范围是33℃～1...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 水蒸气等离子体射流具有较高的安全性、富含羟基组分、良好的环保特性、工作介质廉价等优点,在危废处理和化学合成等领域具有显著应用前景.但由于水蒸气在输运过程中易冷凝,严重影响水蒸气等离子体发生器...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 通过一系列的刻蚀实验,研究了在反应离子刻蚀(RIE)过程中,CF4流量及射频功率等工艺参数对刻蚀硅基材料的影响,采用不同工艺条件,得出了对应的刻蚀速率、均匀性、选择比等刻蚀参数,并对结果进行...
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18. 超高真空和高真空技术的应用刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 真空技术应用领域的不断拓展促进了不同学科间的相互融合和交叉学科的诞生.超高真空和高真空技术的进步推动了半导体、航天航空、核电能源等高技术产业的发展,为人类的可持续发展提供了保障.近些年,真空...
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19. 第二十一讲真空卷绕镀膜刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： (接2021 年第3 期88 页) 2.5.1 真空镀铝工艺 塑料薄膜表面真空镀铝是应用最早也是最常见的一种蒸发卷绕镀膜工艺.纳米级厚度的铝膜牢固地附着在柔软的塑料基膜上,因其优良的耐折...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 全国真空技术标准化技术委员会(以下简称"真空标委会")于2021年6月23日-25日,在浙江省杭州市组织召开了"GB/T 3163《真空技术术语》修订暨ISO 3529标准转化工作组"工作会...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年4期页码:摘要： 2021年ISO/TC 112/WG2(真空测量装置)第二次工作组会议于6月29日(北京时间,19:00～22:00)顺利召开.鉴于全球疫情影响,根据ISO的相关规定,此次会议以ZOOM视频...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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