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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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1. 约瑟夫森结工艺系统刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 超导电子学和超导量子信息等领域的核心元器件是约瑟夫森结,这是一种超导体/介质层/超导体三层结构的非线性器件.超导量子比特常用铝/氧化铝/铝结构的结,在量子芯片上制备这种约瑟夫森结,需要在衬底...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 采用等离子体处理技术对不同作用距离下的石英纤维/氰酸酯复合材料表面进行活化处理,考察了等离子体处理工艺参数对复合材料表面接触角的影响,以及等离子体处理前后表面形貌、性能和膜基结合强度的变化规...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 在对一种小型触发型真空弧离子源的研究过程中发现,稳定的触发过程对真空弧离子源的主弧形成以及后续离子引出过程是至关重要的.传统触发结构为简单的触发极、绝缘体和阴极堆叠而成的"三明治"结构,触发...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 为满足某型号航天产品热真空试验中梯度控温需求,设计了一套高精度梯度控温系统.系统由热沉、加热器及配套的控温系统等组成,可实现载荷等产品梯度控温需求,控温精度可达±0.2℃.本文介绍了该系统控...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 本文针对印刷板式换热器的结构特点和密封性要求,通过检漏方法选择、漏率指标设定和漏率计算完成了印刷板式换热器检漏方案的制定.根据制定的检漏方案,完成了印刷板式换热器实际产品的氦质谱检漏工作,实...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 在德国卡尔斯鲁厄理工学院提出的 KALPUREX(Karlsruhe liquid metal based pumping process for fusion reactor exhaus...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 空间快速减压过程研究及其效应评估和应对防护技术是未来实现临近空间探索、深空探测等重大国家探索工程所必须面临的难题.面向快速减压环境地面模拟装置的研究需求,为了更真实更准确地分析减压过程气体流...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 喷射循环热风加热干燥技术是用压缩空气喷射驱动替代传统风机的扰动,实现热风循环对流换热、加热变压器的真空干燥技术.该技术克服了传统热风循环和变压法干燥技术的缺陷,从物理原理上提高了变压器热风循...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中.近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 为提高铜合金表面硬质薄膜的抗冲击性能,在KK3铜合金表面制备了不同厚度Cr/CrN粘结层的铬掺杂类金刚石(Cr-DLC)碳基薄膜,采用扫描电镜、拉曼光谱仪、纳米压痕仪和连续冲击试验机分别分析...
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刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 半球谐振子金属化镀膜是半球谐振陀螺制造的重要工艺环节.镀膜过程所产生的薄膜残余应力对谐振子Q值有较大影响,决定着半球谐振陀螺零偏稳定性等最终性能.本文采用X射线衍射法测量薄膜残余应力,研究了...
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12. 一种真空电子束熔炼炉循环进料系统刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 针对现有电子束熔炼炉的整料进料机构容量较小、功能单一、无法满足不同尺寸规格的原料组合、作业效率低等问题,研制了一种基于链传动方式的循环进料系统,该系统主要通过链条与料架相连,实现原料的立体循...
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13. 一种用于真空电弧熔炼的稳弧电源刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 本文介绍了一种新型的稳弧电源实现方案,不但对理论基础、主电路拓扑、DSP(Digital Signal Processing)和CPLD(Complex Programmable Logic...
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14. 喷雾冷冻干燥技术与设备发展现状刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 喷雾冷冻干燥技术近几年发展较快,在食品、医药、材料等领域都有广泛的应用,但是相应的喷雾冷冻干燥设备却发展较慢,在一定程度上限制了喷雾冷冻干燥技术的发展.本文首先介绍了喷雾冷冻干燥技术的原理与...
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15. 高深宽比硅台阶落差结构的精密成型刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： 针对MEMS深硅台阶刻蚀产生硅草导致器件短路的问题,分析了硅草形成的原因,通过对深硅台阶刻蚀的主要工艺参数,如刻蚀钝化时间、Ar物理轰击设置单因素实验,提出一种基于Bosch工艺,即采用周期...
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16. 第二十一讲真空卷绕镀膜刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要： (接2022年第1期88页) 3.5.2 海绵导电化 真空磁控溅射技术是海绵卷导电化处理非常行之有效的方法,也是目前国际上最先进的工艺方法.它可以解决采用化学镀或涂导电胶的方法在海绵镍中...
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17. 投搞须知刊名： 真空发表期刊： 2022年2期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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