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真空科学与技术学报2002年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用反应溅射在多靶溅射仪上制备了调制周期小于73.2 nm的一系列TaN/NbN纳米多层膜和TaN,NbN单层薄膜,并采用透射电子显微镜、显微硬度计和凹坑研磨仪研究了薄膜的微结构、力学性能和...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 研究了新型的复合静电-磁浸没透镜的曲光轴高斯电子光学性质及像差特性.应用宽束曲轴理论,导出了三维局部正交坐标系中的电子运动的中心轨迹方程和曲光轴的近轴轨迹方程;利用数学软件Mathemati...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶法制备了低介电常数SiO2薄膜和SiOF薄膜,F的掺入明显地降低了SiO2薄膜的介电常数.研究了F的掺杂量对薄膜介电常数的影响,测量了10～300 kHz范围内电容随频率变化的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 为了找到制备具有最佳光电导性能的CuPc/ZnS多层复合薄膜的工艺参数,研究了CuPc/ZnS多层复合膜的层数系列、CuPc膜层的厚度系列、ZnS膜层的厚度系列和基板温度系列的光电导性能和结...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 将单壁碳纳米管组装于W针尖,对它进行热处理,得到单壁碳纳米管在不同温度去气时的残气质谱图和热处理后的场发射特性曲线.通过对不同温度去气后的I-U特性曲线的Fowler-Nordheim直线斜...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 绝缘膜正带电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子从正带电绝缘膜表面发射后的运动轨迹,分析了初始条件和电位分布形态对轨...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 设计了用于19英寸显示器、具有110°偏转角的一种新型的矩形偏转线圈.这种矩形偏转线圈可节省偏转能量,提高偏转灵敏度.由于采用了一种简单新颖的设计方法,不仅避免了复杂的三维电磁场计算和优化,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 基于pin结构a-Si∶H太阳能电池中的空间电荷效应,讨论a-Si/CIS叠层太阳能电池的稳定性.结果表明,光生空穴俘获造成的a-Si∶H中正空间电荷密度增加改变了电池内部的电场分布,普遍抬...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 通过模拟二个无限大平行平面之间的热交换方式,深入研究了可视冰柜单层门玻璃内外表面之间的热交换过程.分析了低辐射薄膜防止可视冰柜门玻璃表面结露的性能并进行了实验研究.提出了低辐射薄膜的置向原则...
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10. 自会聚偏转系统中磁滞损耗的估测刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 通过空间磁场和感应电压的测量,对自会聚偏转系统偏转磁芯中的二极场、六极场磁通密度的分布进行了计算,并根据磁滞损耗的经验公式对Philips 17英寸CMT的磁滞损耗进行了估测.该方法适用于估...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 通过磁控溅射方法在不同基片温度下制备了B4C薄膜,利用傅立叶红外光谱、X射线衍射、透射电子显微镜表征了薄膜的微结构,并采用纳牛力学探针测量了薄膜的力学性能.结果表明,室温下制备的B4C薄膜具...
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12. 星型阴极的温度分布研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 通过对星型阴极的稳定导热问题进行分析,推导出阴极交叉点附近温度分布的近似解析式.并用有限差分数值计算方法对钨基底金属的温度分布进行了计算、分析.数值计算结果和解析结果在常用的阴极温度使用范围...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 利用热丝化学气相沉积法(HF-CVD)进行了金刚石薄膜制备和碳纳米管形核作用的研究.获得了制备金刚石薄膜的优化工艺参数.利用碳纳米管作为形核前驱获得了高质量的金刚石薄膜,其沉积速率可达2.5...
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14. 低温生长硅基碳化硅薄膜研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 在850 ℃的低温下,在Si(100)衬底上生长了3C-SiC薄膜,气源为SiH4和C2H4混合气体.用X射线衍射、X射线光电子能谱和傅立叶红外吸收谱分析了薄膜的晶体结构、组分以及键能随深度...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 介绍了用于生长SiGe材料的3UCVD设备的简要情况.对3UCVD工艺系统构建了神经网络模型;基于误差反向传播(BP)学习算法设计了一种自动调整网络结构和训练精度的网络训练方法;利用3UCV...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要：
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 采用磁控溅射方法制备了NiFe/FeMn双层膜,分别以Ta,Cu作为缓冲层,Ta作为保护层.实验发现,以Ta为缓冲层的NiFe/FeMn双层膜的交换耦合场比以Cu为缓冲层的NiFe/FeMn...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 用真空蒸镀法在室温Si基片上制备了Ag薄膜,并用X射线衍射及反射式椭偏光谱技术对薄膜的微结构和光学常数进行了测试分析.结构分析表明:制备的Ag膜晶体仍为面心立方结构,呈多晶状态,晶粒择优取向...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2O3薄膜和多层膜.用X射线光电子谱仪(XPS)和透射电镜(TEM)对样品进行检测.XPS实验说明自然氧化的Al2O3膜层厚在2～5 n...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 对驱动波形和制作在显示电极对间的黑条对表面放电型AC-PDP对比度的影响进行了实验研究,结果表明,改进驱动波形和采用黑条技术是提高PDP暗室对比度和亮室对比度的有效措施.并且开发出一种新型电...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年1期页码:摘要： 以Zn(C2H5)2和CO2为反应源,在低温下用等离子体增强化学气相沉积方法,在Si衬底上外延生长了高质量的ZnO薄膜.用X射线衍射谱和光致发光谱研究了衬底温度对ZnO薄膜质量的影响.X射线...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 在真空中用蒸发沉积的方法制备了埋藏有金属Ag纳米微粒的稀土氧化物复合介质薄膜Ag-Nd2O3.通过对这种薄膜的透射电子显微镜观察和光吸收实验研究,发现在相同Nd2O3的薄膜上沉积数量和大小不...
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23. Gray微束定位辐射准确性的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 对Gray微束装置的定位辐射准确度进行了全面的实验研究.微束定位辐射的能力表现在辐射点的准确度高低和离子分布区域的大小二个方面.辐射点的准确度取决于样品架的回访精度和图像处理系统的样品识别准...
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24. 盐酸蒸气处理对酞菁氧钛薄膜的影响刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 用HC1蒸气对真空蒸发沉积的酞菁氧钛薄膜进行了处理,并用UV-Vis吸收谱、X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射(XRD)进行了分析.吸收谱结果表明HC1与酞菁氧钛蒸气作用后产生一个新的吸...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用逐次近似的方法,在平面曲轴系统中,对于扇形均匀磁场分析器的飞行时间特性进行了直到二阶的理论研究,推导出了扇形磁场分析器中电子轨迹精确到二阶的理论表达式,得到了飞行时间特性的一阶和二阶传递...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 利用扫描隧道显微镜和超高真空实验装置系统进行了Si(100)表面生长Si,Ge的实验研究.分析了所生成表面的形貌、结构等物理性质.研究表明:Si在Si(100)表面的同质生长可以形成纳米结构...
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28. 各向异性胶体基底表面的分形凝聚体刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 对各向异性胶体基底表面的分枝状金原子凝聚体的生长机制进行了研究.沉积在无规杂质区域的熔融玻璃表面的金原子先形成网状结构的薄膜,然后逐渐演变成分枝状凝聚体.根据这一实验结果,建立了各向异性的团...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体.这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景.本文...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用二维数值模拟方法,对新型槽形彩色等离子体平板显示器放电单元的结构形状进行了设计.研究了在不同形状结构情况下,该新型槽形彩色等离子体平板显示器放电单元的放电特性以及相关性质.分别给出了不同...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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