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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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总被引数（次）
19905
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  • 1. 考虑电子热初速分布计算磁聚焦强流电子注的新方法
    作者： 唐天同 康永锋 王兆宏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  161-165
    摘要： 电子的热初速对强流电子注磁聚焦系统的性能具有重大的影响.本文提出了一种新方法,系统地考虑电子热初速分布和空间电荷效应计算非层流强流电子注聚焦系统;导出了局部正交曲线坐标系中电流密度分布的演化...
  • 2. 表面处理对n-GaN上无合金化Ti/Al欧姆接触的作用
    作者： 何乐年 刘磊 陈忠景
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  166-168
    摘要： 本文研究了表面处理对n-GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用,比较了(NH4)2Sx和CH3CSNH2两种不同的表面处理方法.在用CH3CSHN2/NH4OH溶液处理过的样品上制作的无合...
  • 3. Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构
    作者： 孙兆奇 宋学萍 王佩红 王磊 蔡琪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  169-172
    摘要： 用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为6%、15%、25%、40%、50%和60%的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜.用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试...
  • 4. 非晶态和纳米晶碳化硅薄膜的制备及力学性能
    作者： 王新华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  173-176,190
    摘要： 以SiC超细粉为原料、利用热等离子体PVD(TPPVD)技术快速制备出了优质非晶态和纳米晶SiC薄膜.用扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜、X射线衍射和X射线光电子谱、红外分光谱对薄膜的微...
  • 5. 荫罩式PDP单元放电过程中电极电流的模拟
    作者： 尹涵春 屠彦 张健
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  177-181
    摘要： 本文采用二维流体模型研究荫罩式PDP(SMPDP)结构放电单元内的放电过程,并在此基础上与表面电荷法结合模拟各电极上的电流.给出了寻址周期和维持周期各电极上的电流变化过程.研究了在不同寻址电...
  • 6. Sb对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的影响
    作者： 崔晓莉 张群 杨锡良 沃松涛 沈杰 章壮健 蔡臻炜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  182-186
    摘要： 用直流磁控溅射方法在Si(100)面及载玻片上制备了Sb掺杂TiO2薄膜.利用XRD光谱研究了Sb对其薄膜结晶情况的影响,用AFM观察其表面形貌,利用分光光度计测量了TiO2薄膜的光学特性及...
  • 7. 退火温度对等离子体增强化学气相沉积方法生长的ZnO薄膜质量的影响
    作者： 支壮志 王博 肇常胜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  187-190
    摘要： 研究ZnO薄膜质量与退火温度的关系,为了获得高质量的晶体薄膜,采用PECVD方法在硅(100)衬底上生长ZnO薄膜,生长温度为120℃,然后分别在氧气环境下退火(600℃～1000℃)1 h...
  • 8. 掺In纳米ZnO、CdS薄膜结构、光学特性分析
    作者： 吉雅图 李健
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  191-194
    摘要： 采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜.研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响.实验给出,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构,ZnO...
  • 9. GaAs光电阴极p型掺杂浓度的理论优化
    作者： 宗志园 常本康 杜晓晴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  195-198
    摘要： 为了获得高量子效率的GaAs光电阴极,要求GaAs材料的电子扩散长度足够长,且电子表面逸出几率大,这对p型掺杂浓度提出了两个矛盾的要求,需要进行优化.本文建立了电子扩散长度与p型掺杂浓度的关...
  • 10. 热处理对氧化锌纳米线场发射特性的影响
    作者： 吴锦雷 张兆祥 张琦锋 张耿民 薛增泉 赵兴钰 郑文丰 陈贤祥 陈长琦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  199-202
    摘要： 用场发射显微镜研究了在钨针尖上生长的氧化锌纳米线的场发射性能,得到了氧化锌纳米线的场发射像及场发射电流与电压关系,并讨论了氧化锌纳米线场发射像的形成原因和不同热处理条件对其场发射性能的影响,...
  • 11. Al2O3涂层的真空吸附研究
    作者： 丁延伟 张海欧 王荣 裴元吉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  203-207
    摘要： 合肥光源的脉冲切割磁铁表面用等离子体喷涂了一层A12O3,发现这种涂层表面出气率较小,这种特性对于维持注入段的系统真空度,提高束流寿命很有好处.本文的工作是制备了涂层样品,进行了真空环境下的...
  • 12. 添加元素对TiMeXN多元膜XPS谱的影响
    作者： 匡同春 成晓玲 杨元政 王国庆 白晓军 胡社军 谢光荣 谢致薇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  208-212,215
    摘要： 采用XPS方法研究了TiMeXN多元膜内各元素的化学状态,结果表明,添加元素改变了TiN中Ti元素特征峰的位置和形状.首先,使Ti、N峰强度增大,O峰强度减弱;其次,使Ti2p1/2峰、Ti...
  • 13. n-ZnO/p-PbPc复合多层膜光吸收性能研究
    作者： 上田裕清 向因 季振国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  213-215
    摘要： 用溶胶-凝胶(sol-gel)法和真空热蒸发沉积制备了氧化锌/酞菁铅交替生长复合多层膜,并对复合膜的光吸收性能进行了研究.实验发现,复合膜的紫外-可见吸收谱中,酞菁铅的Q带吸收峰同时具有明显...
  • 14. 梳状电极结构对大气压表面放电的影响
    作者： 张锐 徐蕾 汪磊 程诚 詹如娟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  216-218
    摘要： 研究了梳状电极结构对大气压表面放电的影响,发现频率固定时放电电流随着外加电压的增加而增加,而电压固定时在某个频率范围内放电电流有最大值;在相同的电压和频率下较宽的电极条宽可以产生较大的放电电...
  • 15. 真空蒸发制备Cd(Se,S)薄膜及其光学性能研究
    作者： 李蓉萍 荣利霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  219-221
    摘要： 利用真空蒸发技术在CdS粉末中掺入不同比例的Se粉末作源,选择合适的工艺条件在玻璃衬底上获得了性能稳定的Cd(Se,S)薄膜,薄膜为纤锌矿结构,具有沿[002]晶向的择优取向.Cd(Se,S...
  • 16. 10-10 Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵
    作者： 殷立新 蒋迪奎 陈丽萍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  222-224
    摘要： 不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP+NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1...
  • 17. 非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究
    作者： 蒋迪奎 陈丽萍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  225-229
    摘要： NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽纯气性能进行了比较.混合气体中的NE...
  • 18. 用侧向力显微镜表征纳米级DLC膜摩擦性能
    作者： 丁建宁 朱守星 李长生 杨继昌 范真 蔡兰 陈曦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  230-232,237
    摘要： 本文用侧向力显微镜(Lateral Force Microscope,LFM)研究不同厚度类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)膜的摩擦性能.对厚度为153.4 nm,6...
  • 19. GCr15轴承钢表面PⅢD处理膜层膜基结合力的研究
    作者： 于永澔 刘洪喜 汤宝寅 王宇航 王晓峰 王松雁 王浪平 甘孔银
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  233-237
    摘要： 采用等离子体浸没离子注入沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面形成TiN薄膜,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量.结果发现:适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可...
  • 20. 硅基光致发光膜:(Zn2SiO4/Si):Tb/Mn的制备
    作者： 刘坤 季振国 宋永梁 杨永德 赵士超
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  238-240
    摘要： 利用溶胶-凝胶涂膜技术及高温固相反应技术,在硅片表面生长了掺铽和锰的两种高效硅基光致发光膜.XRD和吸收光谱分析测试结果表明,当固相反应温度高于850℃时,在硅片表面形成了晶态的Zn2SiO...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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