边界元法在数模混合集成电路衬底耦合参数提取中的应用

• 作者: 吴智 唐璞山 黄均鼐
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 边界元 格林函数 数模混合集成电路EEACC:0290T 0220 1280
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 496-503
• 页数: 8页
• 分类号: TN453
• 字数: 3801字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.05.017

摘要

把边界元方法运用到数模混合集成电路衬底耦合电阻参数的提取.求出了满足衬底边界条件的格林函数,而不是采用三维自由空间的格林函数,从而使需离散的边界仅仅是衬底表面的端口区.在计算阻抗元素时,利用基于快速富立叶变换(FFT)的离散余弦变换(DCT)使计算速度大大提高.和有限差分法相比,精度差不多而计算速度提高一个数量级以上.计算精度比Wemple采用解析方法计算有很大的提高.