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A Study of Microstructures in Helium-implanted 4H-SiC by RBS-channeling and TEM
A Study of Microstructures in Helium-implanted 4H-SiC by RBS-channeling and TEM
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | A Study of Microstructures in Helium-implanted 4H-SiC by RBS-channeling and TEM | ||
| 来源期刊 | 近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报：英文版 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 氦离子注入 碳化硅晶体 显微结构 RBS沟道 透射电镜研究 TEM 串联加速器 | ||
| 年，卷（期） | 2002,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 61-62 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | O739 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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氦离子注入
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显微结构
RBS沟道
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近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报：英文版
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年刊
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兰州31号信箱中国科学院近代物理研究所出版发行社社址:北京市海淀区阜成路43号(100037)
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1640
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