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基于TSV技术的CIS芯片晶圆级封装工艺研究
3DIC
CIS
TSV
晶圆级封装工艺流程
化学镀
镍滋生
VLSI圆片级可靠性技术
圆片级可靠性技术
金属化完整性
氧化层完整性
连接完整性
热载流子注入
技术评价:圆片级封装
圆片级封装
凸点
倒装片
圆片级封装技术——超CSPTM
芯片级封装
CSP
超CSPTM
圆片级封装
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 圆片级封装技术展望
来源期刊 世界电子元器件 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2003,(1) 所属期刊栏目 半导体制造
研究方向 页码范围 74-75
页数 2页 分类号 TN3
字数 3041字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-7604.2003.01.028
五维指标
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
世界电子元器件
月刊
1006-7604
11-3540/TN
16开
北京市北四环西路67号大地科技大厦1201-1218
82-796
1995
chi
出版文献量(篇)
5855
总下载数(次)
6
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