国产晶振膜厚控制仪在镀膜机上实现多层膜半自动化

• 作者: 施恩光 李国恒 金林发 陈兴义
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜 多层膜 膜厚控制仪
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 138-140
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.04.034

摘要

主要介绍了用国产FCM-II型膜厚控制仪进行多层光学膜的半自动化镀膜使用方法,并用此方法对非1/4λ的多层光学膜进行了速率控制镀膜,得出了比较满意的实验结果.并用此工艺方法做出了批量产品,满足了用户的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国恒		1	2	1.0	1.0
2	金林发		1	2	1.0	1.0
3	陈兴义		1	2	1.0	1.0
4	施恩光		1	2	1.0	1.0