介质薄膜的制备及其电性能的测试分析

• 作者: 周鸿仁 崔红玲 杜小松 杨邦朝 滕林
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化二铝薄膜 电子束蒸发 电性能测试 电阻率
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: HIC技术
• 页码范围: 39-40,51
• 页数: 3页
• 分类号: TN704
• 字数: 1443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.05.013

摘要

以Al2O3薄膜为例,介绍了用电子束蒸发制备介质薄膜的工艺.研究了不同退火条件下Al2O3薄膜的电性能,优化出最佳的热处理条件为400℃、氧气气氛中,热处理3 h.并对制得的Al2O3薄膜进行了SEM表面和断面分析,结果表明制得的Al2O3薄膜较烧结的Al2O3基板致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
2	滕林	电子科技大学微电子与固体电子学院	16	88	5.0	9.0
3	周鸿仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	12	60	5.0	7.0
4	崔红玲	电子科技大学微电子与固体电子学院	16	163	5.0	12.0
5	杜小松	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	5	1.0	1.0