基于薄膜结构的MEMS技术研究

• 作者: 刘辉 叶甜春 杨清华 欧毅 王玮冰 董立军 谢常青 陈大鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 悬臂梁微结构 微电子机械系统 有限元模拟 红外焦平面成像
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TN371+.2
• 字数: 2751字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.01.005

摘要

报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果,包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈大鹏	中科院微电子中心	13	126	6.0	11.0
2	王玮冰	中科院微电子中心	3	43	3.0	3.0
3	欧毅	中科院微电子中心	7	76	4.0	7.0
4	杨清华	中科院微电子中心	2	6	1.0	2.0
5	谢常青	中科院微电子中心	2	8	2.0	2.0
6	刘辉	中科院微电子中心	7	23	4.0	4.0
7	董立军	中科院微电子中心	2	14	2.0	2.0
8	叶甜春	中科院微电子中心	14	91	5.0	9.0