阳极氧化铝薄膜厚度测试方法的研究

• 作者: 孟大伟 朱绪飞 李东栋 肖迎红
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 化学
• 关键词: 电子技术 阳极氧化铝 氧化膜 介电性能 厚度
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: O646.6
• 字数: 2584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.12.020

摘要

通过自制的铝电解电容器模型,利用氧化铝薄膜具有的介电性能,通过电容量法可以准确快捷地计算氧化膜的厚度,并通过显微直接观察法、电解电量法、伏安法进行了验证.得到如下结论:所用铝条样品天然氧化膜的厚度约为8.0 nm;在H3PO4溶液中形成的氧化膜厚度随氧化时间变化为50～80 nm;阻档层生成率1.219.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱绪飞	南京理工大学化工学院	61	422	12.0	17.0
2	肖迎红	南京理工大学化工学院	22	434	11.0	20.0
3	孟大伟	南京理工大学化工学院	4	41	4.0	4.0
4	李东栋	上海交通大学材料科学与工程学院	3	19	3.0	3.0