SOI技术及其设备

• 作者: 翁寿松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: SOI技术 超薄S0I 应变硅S0I 大束流 专用氧离子注入机
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 晶圆制备
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.03.012

摘要

介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术,应变硅S0I技术及其设备,如大束流专用氧离子注入机.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁寿松		95	534	13.0	18.0