脉冲激光沉积 ZnO 薄膜的微结构及发光性能

• 作者: 勾治践 李建华 范希梅
• 来源期刊: 西南交通大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌(ZnO)薄膜 脉冲激光沉积 紫外光致发光 X 射线衍射
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 709-712
• 页数: 4页
• 分类号: O462.1
• 字数: 2804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-2724.2006.06.009

摘要

用波长为1 064 nm的Nd-YAG激光器,在氧的活性气氛中,通过激光烧蚀Zn靶在Si(111)衬底上获得ZnO薄膜.用电子显微镜(XRD和FESEM)表征ZnO薄膜的结构和表面形貌,用光致发光谱表征光学性质.实验中观察到紫外光发射和深能级的黄绿光发射.紫外光发射是ZnO薄膜的固有性质,深能级光发射是由于存在氧反位缺陷(OZn).紫外光发射和深能级光发射的强度依赖于薄膜的表面粗糙度.表面粗糙度在nm级范围内的ZnO薄膜可以获得高强度的紫外光.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	勾治践	长春工业大学机电工程学院	21	135	6.0	10.0
2	李建华	长春工业大学机电工程学院	4	7	2.0	2.0
3	范希梅	西南交通大学材料科学与工程学院	13	87	7.0	9.0