TM-1201溅射台及其工艺的完善

• 作者: 吴凌祎 江锋 王立燕
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射台 薄膜 均匀性 冷凝泵
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TN451
• 字数: 3388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2006.11.010

摘要

引进的俄罗斯TM-1201溅射台,经过在生产过程中结合现状不断革新改进、工艺技术上精雕细啄,从而使该设备长期保持良好的运行状态.薄膜的质量、膜厚均匀性也得到显著提高,并能满足1 000MHz器件(铝条间隔0.58μm)对镀膜提出的质量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立燕		2	0	0.0	0.0
2	江锋		1	0	0.0	0.0
3	吴凌祎		1	0	0.0	0.0