PLD生长的ZnO薄膜的微结构及其发光特性研究

• 作者: 刘忠良 孙柏 张国斌 徐彭寿 邹崇文 韦世强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 脉冲激光淀积 X射线光电子能谱 广延X射线吸收精细结构 光致发光
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 446-450
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.5
• 字数: 3374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.06.004

摘要

在不同的衬底温度下,通过脉冲激光淀积(PLD)方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜.ZnO薄膜的结构分别通过X射线衍射(XRD)和广延X射线吸收精细结构(EXAFS)来表征,而表面成份和化学态则通过X射线光电子能谱来研究.利用光致发光(PL)来研究样品的发光特性.XRD结果和EXAFS结果都表明了500 ℃时生长的ZnO薄膜的结晶性比300 ℃时生长的要好.EXAFS结果和XPS结果显示,300 ℃时生长的ZnO薄膜处于富氧状态,而500 ℃时生长的则处于缺氧状态.结合XRD谱、EXAFS谱、XPS谱和PL谱的结果可以看到:随着ZnO薄膜的结晶性变好,它的紫外发光增强;另一方面,随着ZnO薄膜中O的含量减少,绿光发射变强.我们的结果表明绿光发射与ZnO中氧空位(Vo)有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦世强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	51	239	7.0	14.0
2	徐彭寿	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	70	488	10.0	19.0
3	张国斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	44	298	10.0	15.0
4	孙柏	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	465	13.0	20.0
5	刘忠良	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	17	101	6.0	9.0
6	邹崇文	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	10	51	4.0	7.0