甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响

• 作者: 毕冬梅 王丽丽 赵利军
• 来源期刊: 长春大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 甲烷浓度 膜的质量
• 年，卷（期）: ccdxxbb_2006,（12）
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1

摘要

采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA.CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化会直接影响着金刚石膜的生长和质量。使用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。