LMBE法生长Mg0.2Zn0.8O及MSM型紫外探测器的制备

• 作者: 侯洵 张新安 张景文 毕臻 王东 边旭明
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Mg0.2Zn0.8O薄膜 紫外探测器 响应时间
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1242-1247
• 页数: 6页
• 分类号: TL814
• 字数: 2571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.08.015

摘要

采用激光分子束外延(LMBE)方法在蓝宝石(0001)面生长了高质量的Mg0.2Zn0.8O薄膜,并对薄膜在空气中900℃进行了1h的退火处理,然后采用剥离方法在薄膜表面制作了Al叉指电极,制备出MSM型Mg0.2Zn0.8O光电导紫外探测器.对响应时间的测试表明,探测器的上升时间仅为14.3ns,下降时间为6.5μs.