电容式微加速度计零偏的补偿方法

• 作者: 刘民杰 董景新
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微小电容阵列 基于电荷的电容测量方法 补偿 仿真
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 惯性仪表研究与设计
• 页码范围: 86-89
• 页数: 4页
• 分类号: U666.1
• 字数: 1470字
• 语种: 中文

摘要

在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题.针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF的测量精度.采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18 um的一层多晶硅六层金属的CMOS工艺下,取得了1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器与机械学系	89	741	14.0	20.0
2	刘民杰	清华大学精密仪器与机械学系	3	12	2.0	3.0