NSR-1755i7A投影光刻机自动对准故障分析

• 作者: 宋健 张文雅 朱鹏 雷宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 分步重复 双频激光干涉 LSA
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 本期专题(前道制造技术)
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.02.001

摘要

在半导体设备当中投影光刻机应是最为精密复杂的设备,其维修工作具有高度的技术性.论述了NSR1755i7A投影光刻机自动对准系统的工作原理,并分析了两例自动对准系统故障和排除故障的过程,最后提出对此类故障检查的一般原则.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋健	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	16	2.0	3.0
2	张文雅	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	14	2.0	3.0
3	雷宇	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	14	2.0	3.0