GaAs/InGaP异质界面的湿法腐蚀

• 作者: 孙晓玮 徐安怀 林玲 王伟 齐鸣
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法腐蚀 GaAs InGaP 柠檬酸
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 634-638
• 页数: 5页
• 分类号: TN385|TN304
• 字数: 2571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.014

摘要

对柠檬酸系、盐酸系溶液腐蚀GaAs/InGaP异质结构材料体系时出现的腐蚀不均匀现象进行了实验研究,采用原子力显微镜(AFM)、电子显微镜、台阶仪等分析了不同腐蚀条件下GaAs/InGaP异质界面的腐蚀形貌,找到了简单有效的办法,可获得很好的表面平整度,同时侧向腐蚀也较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	295	3192	30.0	44.0
5	孙晓玮	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	97	828	16.0	23.0
6	林玲	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	16	132	6.0	11.0
10	徐安怀	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	20	94	7.0	8.0