高精度投影光刻机对准微动硅片台

• 作者: 董同社
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高精度 微动 硅片台 功能 工作原理
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: IC制造设备与工艺
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.01.007

摘要

介绍一种高精度的光刻机对准微动硅片台的机械结构,并对其功能和工作原理进行详细叙述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董同社		3	1	1.0	1.0