缠绕式射频磁控溅射聚(PET)表面沉积氧化硅(SiOx)薄膜的研究

• 作者: 刘壮 孙智慧 林晶 高德
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 SiOx薄膜 表面形貌 阻隔性 红外吸收光谱
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 94-97
• 页数: 4页
• 分类号: TB484.5
• 字数: 1803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.z1.22

摘要

采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiOx薄膜.研究了制备工艺对薄膜组成、表面形貌、阻隔性能的影响.通过红外光谱(FITR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析了射频功率、工作压强等参数对SiOx薄膜性能的影响,得到最佳工艺参数;通过透湿与透氧测试,2000W、0.7Pa得到SiOx薄膜对水蒸汽的阻隔性提高了约15倍,对氧气的阻隔性提高了25倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晶		40	160	7.0	11.0
2	高德		42	715	15.0	26.0
3	刘壮		36	267	9.0	16.0
4	孙智慧		87	596	14.0	21.0