ZnO:Ti透明导电薄膜的制备与光电性能研究

• 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁玉珍 袁长坤
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO:Ti膜 透明导电薄膜 偏压 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 41-43,53
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.10.013

摘要

采用直流磁控溅射法,在水冷7059玻璃衬底上制备了具有高透射率和相对低电阻率的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射偏压对ZnO:Ti 薄膜结构、形貌和光电性能的影响.结果表明,ZnO:Ti 薄膜为六角纤锌矿多晶结构,具有c轴择优取向.溅射偏压对ZnO:Ti 薄膜的结构和电阻率有重要影响.当溅射偏压为10 V时,电阻率具有最小值1.90×10–4 Ω· cm.薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透射率超过90%.该ZnO:Ti薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁玉珍	山东理工大学理学院	26	159	7.0	11.0
2	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
3	张化福	山东理工大学理学院	52	292	11.0	13.0
4	类成新	山东理工大学理学院	48	201	8.0	10.0
5	袁长坤	山东理工大学理学院	23	126	6.0	10.0