蠕动泵原理及在化学机械抛光过程中的应用

• 作者: 刘涛 孙振杰 高慧莹
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 蠕动泵 化学机械抛光 控制 泵头 泵管
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 48-51
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.09.010

摘要

主要分析了蠕动泵的组成和工作原理,描述了蠕动泵在化学机械抛光过程中的应用特点和优势.详细介绍了蠕动泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙振杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	28	2.0	5.0
2	刘涛	中国电子科技集团公司第四十五研究所	33	79	4.0	8.0
3	高慧莹	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	58	3.0	7.0