一种用于MEMS麦克风的信号采集电路

• 作者: 刘乃瑞
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械麦克风 Delta-Sigma调制器 斩波稳定 仪表放大器 前馈
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 集成电路设计与应用
• 页码范围: 948-952,967
• 分类号: TN432
• 字数: 2528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.12.011

摘要

设计了一款用于MEMS麦克风的模数转换接口电路.该电路包含一个前置放大器和一个四阶Delta-Sigma调制器.前置放大器包括一个pMOS输入的源级跟随器和一个仪表放大器.放大器设计中采用了斩波稳定技术消除低频闪烁噪声.Delta-Sigma调制器采用了带有前馈支路的四阶结构,其优点在于低积分器摆幅,可以降低积分器中放大器的非线性增益对电路性能的影响.该电路采用0.18 μm CMOS工艺制作,电源电压为1.65 μV.测试结果表明,电路可以达到80 dB的动态范围和73.4 dB的峰值信号对噪声加谐波比.电路的耗散电流为1 500 μA,占用的芯片面积为0.48 mm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘乃瑞	北京青年政治学院计算机系	13	74	4.0	8.0