立用于硅片传输系统的机械手设计

• 作者: 吕磊 王洪宇 胡晓霞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 传输系统 机械手 探针测试台
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 材料制备与设备
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3166字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.03.011

摘要

介绍了应用于硅片传输系统的机械手发展现状．主要针对12英寸全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计，对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线其他工艺设备的应用．对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕磊	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	20	3.0	3.0
2	王洪宇	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	16	3.0	4.0
3	胡晓霞	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	16	3.0	3.0