“集成电路工艺原理”课程建设与教学改革探讨

• 作者: 汤乃云
• 来源期刊: 中国电力教育
• 学科: 教育
• 关键词: 集成电路工艺原理 教学内容 教学方法
• 年，卷（期）: 2012,（29）
• 页码范围: 46
• 分类号: G642.0
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-0079.2012.29.024

摘要

“集成电路工艺原理”是微电子学的核心专业课程,是联系半导体器件与集成电路的关键环节.针对课程实验所需的集成电路工艺线价格昂贵、成本很高、一般高校难以开设实验的特点出发,提出了以整合优化教学内容为中心,运用多媒体教学方法,辅以工艺模拟仿真实验、生产实习等实践教学,对“集成电路工艺原理”课程建设与教学改革进行了探讨与实践.