大颗粒缺陷在电弧离子镀所制备薄膜中的分布状态研究

• 作者: 文振华 田修波 蒋志强 魏永强
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 薄膜 大颗粒 分布状态
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TB383.2|TB302.1|TB333
• 字数: 1219字
• 语种: 中文

摘要

针对电弧离子镀制备薄膜产生的大颗粒问题,本文主要研究了大颗粒在薄膜中的分布状态.根据大颗粒尺寸和薄膜厚度之间的比例关系,将其划分为三种类型:表面缺位型、镶嵌型和完全贯穿型,其中镶嵌型又划分为表面镶嵌型、中间镶嵌型、镶嵌生长型和重叠镶嵌型等四种类型,并对其形成原因分别进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋志强	郑州航空工业管理学院机电工程学院	98	734	11.0	24.0
3	文振华	郑州航空工业管理学院机电工程学院	31	91	6.0	9.0
5	魏永强	郑州航空工业管理学院机电工程学院	16	57	4.0	7.0