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摘要:
通过对液晶显示器制造过程中的关键工序---光刻胶涂布工艺、原理进行分析,对光刻胶涂布设备参数进行调整等,为生产LCD提高合格率提供参考。
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内容分析
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文献信息
篇名 LCD光刻胶涂布质量浅析
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 光刻胶 涂布 显示器 液晶
年,卷(期) 2013,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 44-46,56
页数 4页 分类号 TN305.7
字数 2909字 语种 中文
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1 谭代木 3 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
光刻胶
涂布
显示器
液晶
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相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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