投影光刻机TTL对准原理与故障分析

• 作者: 宋健 张文雅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 氦氖激光器 同轴对准 投影光刻机
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2084字
• 语种: 中文

摘要

论述了A SM L 公司某型投影光刻机TTL 对准系统的基本原理和主要构成，介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程，结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障，并给出了分析以及解决方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋健	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	16	2.0	3.0
2	张文雅	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	14	2.0	3.0