辉光功率对柔性衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响

• 作者: 吴浪 李姗 李心茹 杨恢东 王河深
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 ZnO∶Al薄膜 柔性衬底 辉光功率 方块电阻 相对透射率
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 12-14
• 分类号: TB333|O484
• 语种: 中文

摘要

目前,磁控溅射制备ZnO∶Al薄膜时的溅射压强较低,若氩气流量不稳或腔室排气口处气流扰动会对溅射压强产生较大影响,影响成膜质量.为提高溅射薄膜质量,采用直流磁控溅射技术,在较高溅射压强下,以不同辉光功率在柔性衬底聚酰亚胺上制备了ZnO∶Al薄膜.采用紫外可见分光光度计、四探针测试仪、X射线衍射仪及扫描电镜测试薄膜性能,考察了辉光功率对薄膜光学特性、电学特性、薄膜结构和表面形貌的影响.结果表明:制备的薄膜均为六方纤锌矿结构,且有明显的c轴择优取向;随着辉光功率的增大,方块电阻先减小后增大,辉光功率为50 W时最小,为15.6 Ω,晶粒尺寸先增大后减小;在辉光功率为50 W时,600 ～ 800 nm波长范围内薄膜的相对透射率达到最大值96％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨恢东	暨南大学信息科学技术学院	28	154	7.0	11.0
2	李姗	暨南大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0
3	吴浪	暨南大学信息科学技术学院	7	14	2.0	3.0
4	李心茹	暨南大学信息科学技术学院	7	14	2.0	3.0
5	王河深	暨南大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0