磁控溅射Al掺杂ZnO薄膜结构及光电性能研究

• 作者: 唐立丹 王冰 赵斌
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: AZO薄膜 磁控溅射 Al掺杂含量 电阻率 透光度
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 131-133
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备不同铝(Al)掺杂量的铝掺氧化锌(AZO)薄膜.利用X射线衍射仪、原子力显微镜、四探针测试仪和透射光谱仪等手段研究了不同Al掺杂量对AZO薄膜结构、形貌、电学和光学性能的影响.结果表明,所有样品均为ZnO六方纤锌矿晶体结构,具有较好的c轴择优取向;随着Al掺杂量的增加,薄膜结晶稍有变差,电阻率逐渐降低,透过率逐渐增加.当Al掺含量为3％(vol,体积分数)时,AZO薄膜的综合性能更好,电阻率约3.52×10-3 Ω·cm,平均透光率可达到80％,光学禁带宽度达到3.23eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌		9	9	2.0	3.0
2	唐立丹		54	108	5.0	8.0
3	王冰		68	107	5.0	6.0