22纳米光刻机

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 纳米 技术封锁 超分辨 中科院 国产 芯片
• 年，卷（期）: gxjmjx_2018,（4）
• 页码范围: 15-16
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7

摘要

中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。消息传着传着,就成了谣言——《国产光刻机伟大突破,国产芯片白菜化在即》《突破荷兰技术封锁,弯道超车》《厉害了我的国,新式光刻机将打破“芯片荒”》……