重掺硅单晶中氧含量的测试

• 作者: 刘建涛 库黎明 王永涛 王磊 闫志瑞 陈海滨
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: 惰性气体熔融–红外光谱法 重掺硅单晶 氧
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 页码范围: 603-607
• 页数: 5页
• 分类号: TN3

摘要

测定重掺硅单晶中的氧主要采用惰性气体熔融–红外光谱法,然而如何保证测试结果的准确性却是一个问题。本文讨论了惰性气体熔融–红外光谱法中拉制标准曲线的方法和建立测试的分析方法,通过该方法,可以获得重掺硅中准确的氧含量数据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫志瑞		11	30	2.0	5.0
2	库黎明		6	13	2.0	3.0
3	陈海滨		5	10	2.0	3.0
4	王永涛		6	0	0.0	0.0
5	刘建涛		2	0	0.0	0.0
6	王磊		3	0	0.0	0.0