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上海微电子技术和应用期刊
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上海微电子技术和应用1996年出版文献
出版文献量(篇)
435
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上海微电子技术和应用
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投稿
曾用名:
上海半导体
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
出版周期:
季刊
邮编:
200040
地址:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
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目录
1.
CMOS/BESOI器件的电离辐照特性
作者:
严荣良 高剑侠
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
1-3
摘要:
采用亚阀Ⅰ-Ⅴ技术,分析了CMOS/BESOI器件在^60Co-γ辐照场中的电参数退化行为和机制。结果表明,器件经辐照后产生了较严重的损伤。
2.
MCZ硅的氧碳含量及电阻率均匀性
作者:
卢宁 黄永谦
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
4-8
摘要:
在国产TDR-50AC单晶炉中使用外加磁场生长φ100mmP型单晶硅锭,利用扩展电阻探针技术及红外光谱术研究其O,C含量及电阻率均匀性随磁场强度的变化。
3.
后续热处理配合PLD制备铁电PZT薄膜及其工艺优化研究
作者:
许华平 郑立荣
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
9-13
摘要:
利用ArF准分子脉冲激光沉积工艺在Pt/SiO2/Si衬底上制行了Pb(Zr52Ti48)O3(PZT)薄膜。并用X射线衍射分析方法研究了不同后续热处理对薄膜相组成和相结构转变的影响。
4.
TMG和TEGMOCVD生长GaAs物理化学研究
作者:
丁永庆 胡金波
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
14-16
摘要:
本文采用三甲基镓和三乙基镓为镓源的金属有机化合物气相沉积,获得了高质量的GaAs外延层,生长速率随TMG和TEG的浓度增加而增高和理论计算基本相符,而与AsHs浓度无关,用自制的TEG为镓源...
5.
升温工艺对PTCBaTiO3陶瓷显微结构和电性能的影响
作者:
姚尧 王依琳
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
17-22
摘要:
低于液相呈现温度,用变化升温速率(160-1800℃/小时)的烧结工艺来制备PTCBaTO3陶瓷。测量了PTCBaTiO3试样的室温电阻、R-T曲线I-V曲线及拍摄了试样自然烧结面SEM照片...
6.
测量三种关键工艺参数的微电子测试结构
作者:
张安康
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
23-30
摘要:
本文叙述了X射线曝光掩膜的评估、F-N隧道电流检测氧化层厚度以及三角形栅MOS管测量偏称钽的微电子测试结构,并讨论了量测的结果。
7.
霍尔轮速传感器的研制与开发:用于汽车防抱制动系统的一种新型传感器
作者:
汪建军
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
31-33
摘要:
8.
SiO2,α—Si,Si3N4薄膜在表面钝化中的选择应用
作者:
白宏光 葛虹宇
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
34-37
摘要:
本文基于对Si3N4、SiO2、α-Si薄膜本身结构及其层间结构的分析,在半导体器件的表面钝化中做了选择应用。并将此用于生产实践,在Si3N4-α-Si-SiO2结构中解决了由SiO2/Si...
9.
微机械传感器的新进展
作者:
陈宏 鲍敏杭
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
38-42
摘要:
微机械加工技术在微执行器方面的应用最引入注目,但迄今从微机技术发展中得到最大好处的仍是传感器,在微机加工技术的推动下,微机械传感器,特别是力敏传感器获得了很大的发展,压力传感器获得了很大的发...
10.
生物计算机
作者:
曹来发
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
43
摘要:
11.
世界半导体市场的新市场
作者:
翁寿松
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
44-48
摘要:
12.
前景诱人的闪速式存储器
作者:
张天石
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
49-50
摘要:
13.
95年国际电子元件与材料会议95年国际敏感元件与执行器会议:与95年东亚化…
作者:
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年1期
页码: 
51-54
摘要:
14.
SIMOX材料铁杂质沾污的紫外光致荧光分析
作者:
曾庆城 竺士扬等
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
1-3
摘要:
本文用紫外光致荧光法无损检测孙同工艺参数制备SIMOX材料正面和背面的铁杂质沾污程度,得出了这些样品铁杂质浓度的相对大小。
15.
CMOS运算放大器的质子辐照效应
作者:
任迪远 陆妩
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
4-8
摘要:
本文报道了LF7650 CMOS运算放大器在4Mev、7Mev和30Mev三种不同质子能量辐照下的损伤特性和变化规律,并通过对其损伤机理的分析,探讨了引起电参数失效的机理。结果表明,由于质...
16.
双向晶闸管的设计与制作
作者:
才坚 罗玉香
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
9-13
摘要:
本文将晶闸管的共性理论与双向晶闸管特殊性结构相结合,并根据几年来的生产实践,摸索出了一套设计与制作的方法,并在实践中得到了很好的验证。
17.
大电流塑封高压硅堆的研制
作者:
张丽珍
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
14-20
摘要:
本文在简要介绍微波炉用大电流塑封高压硅堆基础上,叙述了产品研制思路与主要工艺,旨在郑重讨论在研制过程中解决的技术关键,进而得出几点结论。
18.
自动检测装置的联动接口
作者:
沈吉顺
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
21-27
摘要:
本文介绍的联动接口是运用接口转换技术对半导体器件初测设备施行改造更新,实现自控检测的一则应用实例。
19.
性能优异的SiC材料与器材
作者:
严金龙 陈长清
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
28-31
摘要:
20.
新型测量压力波动的传感器
作者:
朱秀章
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
32-35
摘要:
本传感器主要用来精确测量大的压力的微小波动值,。使用前,应参照被测压力值对传感器充电一定压力的空气,测量时,籍助于特制的无张力膜使传感器内部压力跟踪外界压力,当阀门关闭时,传感器可以测量压力...
21.
离子束辅助沉积及其应用
作者:
柳襄怀 陈酉善
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
36-40
摘要:
22.
高纯碲的制备
作者:
韩汉民
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
41-44
摘要:
本文综述了高纯碲的各种制备方法。
23.
锗的制备及其应用概述
作者:
李鸿明
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
46-52
摘要:
半导体技术的发展是对锗进行研究和生产而开始的,我国对锗的研究已有四十年的历史,在此期间对锗的科学研究十分重视,为我国的半导体工业奠定了基础。本文对锗材料、锗器件的研究,应用作一回顾及论述。
24.
MPEG声频解码技术应用——μPD61000解码器LSI
作者:
周启德
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年2期
页码: 
53-56
摘要:
25.
合成温度对PTCPb.36Ba.64Ti1.01O3陶瓷的影响
作者:
姚尧 王依琳
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年3期
页码: 
1-5
摘要:
本工作采用传统陶瓷工艺,在750-1150℃温度范围内,分别合成了不同合成温度的Nb掺杂Pb36Ba.64Ti1.01O3基料,测量了基料的X-射线及合成后的收缩。
26.
铁电薄膜与器件的电特性及辐射效应
作者:
林成鲁 高剑侠
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年3期
页码: 
6-13
摘要:
本文详细讨论了铁电电容和器件的电极化特性的研究方法及其电极化特性的辐照效应。
27.
外延迁移技术制作用于光电子单片集成的Si上GaAs/GaAlAsDHLED
作者:
肖德元 郭康瑾
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年3期
页码: 
14-16
摘要:
描述了在国内首次采用外延迁移技术研制适合于制作光电子集成电路的硅上硬化镓双异质结发光二极管的工艺过程及实验结果。发光器件是在外延迁移以后流片制作的,克服了光子器件的对准问题,可与电子器件大规...
28.
1微米硅栅CMOSASIC制造中RIE的应用
作者:
曹茬 蔡根寿
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年3期
页码: 
17-21
摘要:
本文主要介绍1um双阱双层金属布线硅栅CMOS专用集成电路制造中采用先进的反应离子刻蚀技术,对多种材料如LPCVD、Si3N4、PECVESi3N4、热SiO2、PEVEDSiO2、PSG、...
29.
3DK405型高频高速高反压开关功率晶体管的研制
作者:
白宏光 葛虹宇
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年3期
页码: 
22-26
摘要:
3DK405型高频高速反压NPN开关功率晶体管研制成功,集电极最大耗散功率PCM≥200W,集电极最大电流ICM≥30A,双结反向击穿电压BVceo≥450V,特征频率fT≥80MHZ,下降...
30.
一种应用广泛的计算机辅助分析方法
作者:
张玉莲 谈国华
刊名:
上海微电子技术和应用
发表期刊:
1996年3期
页码: 
27-31
摘要:
本文简要回顾了在计算机辅助工程中广泛使用的一种计算机辅助分析方法-有限元分析技术。叙述了有限元分析技术的原理、功能和组成,并扼要介绍了功能全、应用广的ANSYS有限元分析软件。
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上海微电子技术和应用基本信息
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上海微电子技术和应用
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季刊
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1006-9453
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31-1239/TN
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