电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量(篇)
3731
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  • 作者: 孙国清 李承虎
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  25-27,51
    摘要: 芯片级封装器件因其小尺寸、低阻抗、低噪声等优点广泛应用于电子信息系统中.从器件封装、印制板焊盘设计、焊膏印刷、贴装以及回流焊接等方面探讨了0.5 mm间距CSP/BGA器件无铅焊接工艺技术.
  • 作者: 吴文仕 谭永良
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  28-31
    摘要: 集成电路的测试最关健的两个方面是快速,准确,但存储器由于容量较大,测试时需对其所有存储单元进行扫描测试,因此消耗时间较多,在现代社会中,随着对存储芯片需求量的增大,测试时间问题也就慢慢地凸显...
  • 作者: 张继静 连军莉
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  32-36,57
    摘要: 描述了电子工业日益盛行时代的超声扫描技术.通过超声扫描使电子封装产品的无损检测有了新的突破.主要介绍了超声扫描所面临的挑战及相应的检测设备.
  • 作者: 刘国敬 宋婉贞 田洪涛 霍杰
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  37-39,47
    摘要: LED探针台使用面阵相机对晶圆上的管芯图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复图像数据[1].为了消除重复的采集数据以及对处理后的数据进行排序,对两种数据处理方法进行比较,经过大量...
  • 作者: 刘畅 马斌 马良
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  40-43
    摘要: IC封装工艺过程中,芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量,如果在封装工艺过程中的装片前、引线键合前及塑封固化前进行等离子清洗,则可有效去除这些污染物.介绍了在线式等离子清洗设备及清洗原...
  • 作者: 刘国敬 宋婉贞 田洪涛 霍杰
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  44-47
    摘要: 介绍了如何对Gerber文件导出的IPC-D-356A格式的数据文件进行解析,描述了PCB基板测试数据的转换过程,根据转换出的数据重画测试板的走线和焊盘点,重绘图形实现了PCB测试中选择基准...
  • 作者: 井文丽 孙丽娜 马生生
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  48-51
    摘要: 热声焊机是微电子封装领域的关键设备,其超声系统性能的优劣直接影响着键合质量和键合速度.简要介绍超声系统各组成部件在设计中所可能受到的影响因素,以及系统整体如何协调,使之到达最佳匹配,从而提高...
  • 作者: 庞炳远
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  52-54
    摘要: 区熔硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整性、高纯度、高均匀性及大直径化提出了较高的要求.随着电力电子器件快速发展,市场需求急剧增加,为了深入的...
  • 作者: 邓骊 魏武帅
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  55-57
    摘要: 介绍了全自动氮气保护AB复合式推板窑在新能源行业磷酸铁锂电池正极材料烧制过程中的应用及其本身的工作原理和优势,着重介绍了其电气控制方面的设计与实现.其主要设计思想为在增加产量的同时不断降低生...
  • 作者: 李柳芽 黄晨
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  58-60
    摘要: 主要介绍最新型的氮气保护推板炉的基本构成和其控制系统,以及其在磷酸铁锂烧结工艺中应用,展望了他在新能源领域的广阔前景.
  • 作者:
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  61-62
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  63-68
    摘要:
  • 作者: 夏洋 王登伟
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  1-4,52
    摘要: 为了使随工艺条件变化的动态阻容等效负载自动变换成传输线的特征阻抗50,实现射频电源的最大功率传输,提出了一种PLC控制的自动阻抗匹配器设计方案,采用鉴相鉴幅方法,构建闭环控制系统,实现对动态...
  • 作者: 李健志 毛朝斌 陈特超 马度·巴布
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  5-6,48
    摘要: 介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能...
  • 作者: 殷履文 盖玉喜
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  7-9,36
    摘要: 描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保证光刻工艺中套刻精度的要求.
  • 作者: 董同社 马喜宝
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  10-12,15
    摘要: 针对90 nm及以下线宽光刻设备对掩模版升降定位存取机构功能和性能的需求,确定了掩模版升降定位存取机构的基本构架,并对机构进行了设计.
  • 作者: 刘金荣 李玉敏
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  13-15
    摘要: 介绍了一种用于曝光机的对准显微物镜设计及结果分析,物镜采用共轭距无限远类型,针对传统的用于照相的双高斯结构进行了复杂化设计,并对光学系统进行了优化,实现了长工作距离、平场和长景深.
  • 作者: 侣海燕 吕荣华 王春婷
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  16-19
    摘要: 扼要介绍了切割机直线导轨安装座的零件性能及材料选择,分析了零件的加工工艺难点,然后制定了相应的工艺路线,分析了整个工艺流程.所研制的工艺流程已得到批量生产应用,并为其他类似导轨安装座的加工提...
  • 作者: 常亮 张伟 田知玲 郎小虎 闫启亮
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  20-23
    摘要: 分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量.
  • 作者: 佟丽英 李亚光 李秀强 王俭峰
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  24-26,56
    摘要: 采用TEOS源LPCVD法制备了SiO2薄膜,采用膜厚仪对薄膜的厚度进行测试.通过不同条件下SiO2薄膜的厚度变化,讨论了TEOS源温度、反应压力及反应温度等工艺条件对淀积速率和均匀性的影响...
  • 作者: 张志耀 张燕 白璐 赵喜清
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  27-30
    摘要: 生瓷带打孔机作为LTCC制造技术中的关键设备,如何提高打孔速度及打孔精度是其关键.提出了机械、电气误差分别补偿、综合计算的线性化补偿算法,达到了消除xy伺服运动系统误差的效果,从而提高了打孔...
  • 作者: 张燕 田芳 白璐 董永谦 赵喜清 马生生
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  31-36
    摘要: 生瓷带打孔机是LTCC多层基板制造必不可少的关键工艺装备.分析了生瓷带打孔机的功能,通过详细计算,提出了硬件控制系统的实施方案,采用了双电机同步控制结构、PID参数调试方法,绘制了控制框图和...
  • 作者: 周建生 王兵锋
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  37-40
    摘要: 在半导体封装技术领域,切割机是一种极其重要的封装设备,而电主轴则是切割机非常重要的一个执行部件,所以,对主轴电机技术的研究据有实际意义.介绍了主轴中电机的设计、加工技术.
  • 作者: 司超 菅卫娟 马兵
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  41-44
    摘要: 随着全球的LCM制造业的迅速发展,LCM专用设备已日益受到制造商的高度重视.介绍了双工位FOG邦定机的主要特点和技术指标,分析了设备的机械结构以及控制系统的硬件和软件的设计.
  • 作者: 李春艳 李铁 潘强强
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  45-48
    摘要: 用于液晶显示屏制作过程中的邦定技术目的是使TCP或FPC(柔性电路板)与ITO玻璃之间建立稳定连接的生产工艺,是液晶显示屏制作过程中的主要设备之一.介绍了针对液晶显示器制作工艺开发出的整合型...
  • 作者: 吴旭 张志军
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  49-52
    摘要: 基于C8051F单片机的断线检测是一种低成本、并且容易实现的断线检测装置.介绍了该装置的测量原理、软件及硬件电路设计,试验结果表明,该装置具有很高的可靠性和适用性.
  • 作者: 张志耀 张燕 白璐
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  53-56
    摘要: 丝网印刷机是LTCC多层基板制造设备中的关键设备之一,介绍了精密丝网印刷机的主要结构及其工作原理,阐述了该设备的关键技术与创新点,并展望了设备的市场前景.
  • 作者:
    发表期刊: 2011年6期
    页码:  57-65,后插1
    摘要:
  • 作者: 高慧莹
    发表期刊: 2011年7期
    页码:  1-6
    摘要: 从材料特性出发,分析了氮化镓基LED用衬底材料的性能需求,主要分析了蓝宝石和碳化硅衬底在LED制作中的应用,并描述了当前的发展状态以及未来的发展趋势。
  • 作者: 纪秀峰
    发表期刊: 2011年7期
    页码:  7-10,22
    摘要: 介绍了蓝宝石单晶的性质和应用领域,对泡生法、VHGF法等蓝宝石单晶生长工艺进行了说明,对蓝宝石单晶生长工艺及设备的国内外发展趋势进行了探讨。

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

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