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电子工业专用设备期刊
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
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年度刊次
目录
  • 1. 300mm硅片CMP设备装载技术研究
    作者： 柳滨 陈威 陈波 高文泉
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  1-3,7
    摘要： 定位装载机构是硅片化学机械抛光（CMP）设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较，介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控制原理，并最终通过...
  • 2. 碳化硅金刚线切割表面粗糙度的研究
    作者： 张文斌 袁立伟
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  4-7
    摘要： 碳化硅是新兴的第三代半导体材料。用固定磨料金刚线切割机对其进行切割加工，分析了加工过程的各项参数对晶片表面粗糙度的影响，为优化碳化硅金刚线切割过程提出依据。
  • 3. 超薄硅片的剥膜研究
    作者： 张敏杰 张文斌 袁立伟
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  8-10
    摘要： 介绍了超薄化芯片，分析了贴膜工艺前移的必要性。阐述了剥膜原理．分析了剥膜台与剥膜棒位置的变化关系，提出了剥膜台与剥膜棒相平行的调整方法，并且检测了剥膜完成情况。
  • 4. 6R机械手在CMP设备中的运动空间分析
    作者： 徐荐良 柳滨 陈波 高文泉
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  11-14,56
    摘要： 工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程，确定了机械手工作空间；并利用D-H坐标法，建立6R机械手的数学模型，得到机械手来端坐标系相对于基坐标系的传...
  • 5. 化学腐蚀对超薄锗片机械强度的影响
    作者： 刘晓伟 窦连水
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  15-17
    摘要： 随着锗太阳能光伏产业的发展，锗抛光片得到了广泛的应用。机械强度对锗衬底抛光片的质量和成品率有着重要的影响，采用化学腐蚀工艺，通过酸碱腐蚀实验的开展以及腐蚀温度、腐蚀液配比的控制，确立了提高锗...
  • 6. 6700系列激光器扩展覆盖波段
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  17-17
    摘要： Newport Colorion理波集团，世界激光和光电领域先导者。日前宣布，继第二度推出两款6700系列激光器之后，现在两个新款加入以下系列中，并可立即接受用户订单。6700系列现在覆盖阴...
  • 7. 光学光刻机的未来技术
    作者： 程建瑞
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  18-25
    摘要： 1集成电路技术路线图 1．1IC技术的历史与未来
  • 8. 一种LED环形照明的设计方法
    作者： 亏丽娜
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  26-30
    摘要： 简要介绍了环形照明的原理。阐述了环形照明光源颜色及角度选择的方法。并设计了用于半导体芯片检测的环形光源，进行了理论计算，给出了设计模型。
  • 9. X-ray检测技术在PCB组装领域中的应用
    作者： 鲜飞
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  31-35,40
    摘要： 高密度封装技术的飞速发展也给测试技术提出了新挑战。为了应对挑战，新的测试技术不断涌现。X-ray检测技术就是其中之一，它能有效控制BGA的焊接和组装质量。现在X-ray检测系统不仅仅只是用在...
  • 10. 大直径探针台的晶圆自动传输系统
    作者： 王文举 王洪宇 谭立杰
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  36-40
    摘要： 介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——一片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹，阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理，说...
  • 11. 在线式多晶制绒清洗设备数据质量控制
    作者： 杨筱娟 王青松 高丽颖
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  41-45
    摘要： 讨论了在线式多晶制绒清洗设备系统数据质量控制的软件设计与实现方法，通过建立一种动态存取的数据映射．实现了对数据的采集、数据整合和数据清洗，建立一个可重复的数据收集、修改和维护的流程。实践证明...
  • 12. 高速空气静压电主轴的振动及控制策略
    作者： 李战伟 王明权 贾月明
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  46-51
    摘要： 从主轴的结构和工作机理出发，分析气锤振动、受迫共振、机械振动及电机不平衡磁拉力等引起主轴振动的关键因素，依据分析结果提出减小或消除主轴振动的措施。
  • 13. iSuppli看淡第四季下修半导体出货预测
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  51-51
    摘要： IHSiSuppli在九月发表的报告中预估全球半导体年市场将比去年成长2．9％，过了两个月后，将年成长率下修至1．2％，看淡第四季。
  • 14. 一种新型的步进电机控制系统
    作者： 王文举 田知玲 胡晓霞 谭立杰
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  52-56
    摘要： 采用AVR单片机AT90USB646作为主控制芯片，SLA7078M作为电机驱动专用芯片，实现了一种新型两相步进电机的控制驱动系统。该方案硬件电路简单、软件编程方便，利用串口通信可以实现上位...
  • 15. 塑封模具材料和热处理
    作者： 汪宗华
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  57-59
    摘要： 介绍了半导体专用模具选材性能、技术特点、发展方向及经深冷处理的优点，并叙述了合金元素对材料的物理性能、化学性能、组织结构的影响非常复杂，不同材料有不同的使用群体，应根据模具种类选择钢材；同时...
  • 16. 泰瑞达降低前期开发成本，加快量产之路
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  60-61
    摘要： 泰瑞达的Eagle测试事业部为ATE工业生产统一的软件和硬件解决方案．ETS开发了一个高度直观，易于使用的图形界面来开发测试程序。EagleVision与EagleVisionMST软件套件...
  • 17. 光伏元件规范有助于降低太阳能电池制造成本
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  62-64
    摘要： 全球一直在推动降低对非可再生能源的依赖，加大了对光伏（PV）技术的需求。然而，太阳能成为可再生能源主要来源的希望受到太阳能电池生产成本高的制约。若想太阳能产业蓬勃发展，与更多传统电力相比该市...
  • 18. 应用材料公司完成对维利安半导体设备有限公司的收购
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  65-66
    摘要： 该收购使应用材料公司在晶体管技术设备和服务方面成为了行业领先的供应商 该收购提升了应用材料公司支持客户生产更快、更高性能节能芯片的能力
  • 19. 高效来自深知——GE本特利内华达2011年用户年会
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  65-65
    摘要： 2011年GE本特利内华达用户年会于10月19号-21号在青岛顺利召开。近170名最终用户参与了此次年会，主要来自于石油化工和电力行业。
  • 20. SEMI China在IMAPS 2011上介绍分析中国半导体封装市场
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  66-67
    摘要： 作为全球封装测试领域著名活动IMAPS 2011，于10月9号在美国加州长滩举行了主题为3DIC集成技术的国际大会。应主办方邀请，来自SEMI中国的半导体项目高级经理Kevin Wu对中国的...
  • 21. 中国唱响2012汉诺威工业博览会，“绿色智能”展会标识
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  67-68
    摘要： 全球顶级工业领域最大的国际性专业年度盛会——汉诺威工业博览会将于2012年4月23—27日在德国汉诺威市隆重举行，展会主题定为“绿色与智能”。中国成为合作伙伴国。届时，来自世界各地5000多...
  • 22. 美国迈思肯公司Vision MINI智能相机荣膺2011年科技创新全球科技奖
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  67-67
    摘要： 条码、机器视觉和光源解决方案的全球领导者美国迈思肯（Mi．croscan）公司日前宣布，其Vision MINI智能相机荣膺自动识别系统类全球科技奖。该奖项于2011年11月15日（星期二）...
  • 23. Count On Tools公司研发新型LED吸嘴系列
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  68-69
    摘要： 精密部件和表面贴装配件的领先供应商Count On Tools公司宣布研发新的LED吸嘴系列。Count On Tools公司针对贴片工艺中的LED部件处理难题，从头开始探索新的吸嘴方案，以...
  • 24. 2011年第3季亏损加剧 尔必达计划调整4方向以提升获利能力
    作者：
    刊名： 电子工业专用设备
    发表期刊： 2011年11期
    页码:  69-69
    摘要： （台北讯）日厂尔必达（Elpida）现居全球第3大DRAM厂地位，DIGITIMES Research观察其2011年第3季营运表现，不仅营收仅641亿日圆，为近7季最低水平，且营业损失与净...

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith＿epe@sohu.net
电话 010-64443110，64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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