光学光刻机的未来技术

• 作者: 程建瑞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路技术 光刻机 光学 IC技术 路线图
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设备
• 页码范围: 18-25
• 分类号: TN705.7
• 字数: 2804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.11.007

摘要

1集成电路技术路线图 1．1IC技术的历史与未来

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程建瑞		2	18	2.0	2.0