微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 何素芹 刘文涛 吴李杰 吴绍霖 张颖 李鹏洲 高旭静
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年7期
    页码:  586-592
    摘要: 在掺杂氟的二氧化锡(FTO)透明导电玻璃衬底上分别以聚碳酸酯(PC)、聚乳酸(PLA)和聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为异质诱导层,采用溶剂蒸发退火(SVA)的方法制备了红荧烯晶体薄膜,通...
  • 作者: 潘开林 王文惠 范凯 龚似明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  597-601
    摘要: 串扰作为信号完整性的重要影响因素之一,在进行高速可延展电路设计时,需要对电路中互连结构之间的串扰进行分析,以验证结构的合理性.以耦合可延展通用互连结构为研究对象,在高速电路中运用有限元法对形...
  • 作者: 张雅洁 白一鸣 赵春艳 郭强 降戎杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  602-611,616
    摘要: 详细介绍了钙钛矿薄膜的各种制备方法,系统地探讨了各种制备工艺存在的优点和缺点.在此基础上,综述了大面积钙钛矿太阳电池的各种制备方法的国内外研究进展,并对钙钛矿太阳电池发展历程中的关键节点进行...
  • 作者: 张舒婷 王浚宇 端木庆铎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  612-616
    摘要: 采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上以二水乙酸锌(C4H6O4Zn· 2H2O)、乙酸镁(C4Ht4-MgO8)、氯化钠(NaCl)为前驱体制备NaxMg0.2Zn0.8-xO纳米薄膜,借助扫描电子...
  • 作者: 李朋伟 杨敏敏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  617-621,653
    摘要: 采用水热法成功制备出厚度约为6 nm、直径为(90±10) nm的Fe2O3超薄圆饼结构.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、Brunauer-E...
  • 作者: 牛强 苏剑峰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  622-630,635
    摘要: 传统的三维(3D)有机-无机卤化物钙钛矿经历了前所未有的快速发展.然而,它们对水分、光和热的固有不稳定性仍然是限制其商业化发展的关键问题.相比之下,新出现的二维(2D)钙钛矿因其巨大的环境优...
  • 作者: 李倩 杨拥军 汪蔚 翟晓飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  631-635
    摘要: 随着现代电子技术的发展,通信收发系统趋向小型化,对射频前端的环行器提出了小型化的迫切需求,微电子机械系统(MEMS)环行器与传统环行器相比具有尺寸小、精度高、功率高的优势.创新性地提出了一款...
  • 作者: 何春华 刘玉县 吴康雄 陈婷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  636-643
    摘要: 为了提高微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的抗冲击能力,设计了一种抗冲击保护结构.通过建立陀螺仪结构双自由度冲击模型,推导出陀螺仪结构和冲击保护结构的冲击响应方程,分别对陀螺仪和冲击保护结构进...
  • 作者: 史光华 周彪 徐达 王建 胡松祥
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  644-648,673
    摘要: 研究了一种新型的MEMS超宽带铜基微同轴传输系统.设计了特性阻抗为50 Ω铜基微同轴传输线结构,其仿真电压驻波比(VSWR)在DC~110 GHz内低于1.15.且设计了可用于探针台测试和芯...
  • 作者: 章安良
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  649-653
    摘要: 提出了介质辅助下压电基片上微流体输运新方法,以避免声表面波(SAW)直接辐射引起的水溶液样品中水蒸发或潜在的生物大分子活性降低问题.小钢珠表面涂覆聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜,并放置于12...
  • 作者: 曹小卫 王振雨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  654-659
    摘要: 首先采用液相软模板方法合成银纳米线,然后采用静电吸附法将带负电荷的银纳米线和带正电荷的金纳米颗粒组装形成金银合金纳米线.通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线能谱分析...
  • 作者: 刘志勇 李美霞 杜红霞 许永权 谢娟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  660-665,673
    摘要: 以氯化锌、氯化锡和氢氧化钠为反应物,通过前驱体煅烧法成功制得了片状单分散SnO2/ZnO复合物.用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)及紫外-可见漫反射光谱(UV-Vi...
  • 作者: 刘俊 招瑜 肖志明 郭宗亮 魏爱香
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  666-673
    摘要: 采用化学气相沉积(CVD)技术,以硫粉和MoO3为反应剂、氩气为载气,在SiO2/Si衬底上制备超薄二维MoS2纳米片.采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、透射电子显微镜(...
  • 作者: Hafiz Shehzad Ahmed 赵红东 韩铁成
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年8期
    页码:  674-677
    摘要: 在玻璃衬底到靶的不同水平距离W(0.5、0.8和1.3 cm)条件下,使用脉冲激光沉积(PLD)方法分别制备了纳米Si薄膜.扫描电子显微镜(SEM)结果显示,在三种样品上形成的纳米Si颗粒尺...
  • 作者: 刁华彬 杨凯 罗军 赵超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  681-690
    摘要: 近年来,随着氧化镓(Ga2O3)晶体生长技术取得突破性进展,氧化镓材料及器件的研究与应用成为国际上超宽禁带半导体领域的研究热点.综述了β-Ga2O3衬底的一些优点以及面临的挑战,重点介绍了如...
  • 作者: 潘开林 王文惠 范凯 龚似明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  691-696
    摘要: 针对柔性可延展电路由于不合理的互连结构设计和布局而造成的串扰问题,提出一种基于响应面法对柔性可延展电路互连结构进行设计与布局的方法.以柔性可延展电路中的通用互连结构为研究对象,通过正交实验和...
  • 作者: 何志群 李想 梁春军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  697-703
    摘要: 选用1,3-二巯基丙烷(DMP)作为添加剂加入到聚合物材料PBDB-T与非富勒烯材料ITIC的共混体系中,制备以PBDB-T∶ITIC作为活性层材料的体异质结聚合物太阳电池.实验发现,DMP...
  • 作者: 冯志红 尹甲运 张志荣 房玉龙 王波 袁凤坡 郭艳敏 高楠
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  704-708,719
    摘要: 采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在4英寸(1英寸=2.54 cm)蓝宝石衬底上制备了1.2 μm厚的AlN背势垒的AlGaN/GaN/AlN双异质结高电子迁移率晶体管(HEMT)材...
  • 作者: 张小萍 谢占婷 陈许龙 马元良
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  709-714,760
    摘要: 提取了菠菜、藏红花、金银花、雪菊、山楂5种光谱吸收区间不同的植物染料,根据光谱吸收互补性的原则以不同类型、不同比例进行了混合,用于染料敏化太阳电池(DSSC)光阳极的协同敏化,测定了各种染料...
  • 作者: 吴文渊 李以贵 王洁 蔡金东 金敏慧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  715-719
    摘要: 为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统.与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等...
  • 作者: 刘宁 谭晓兰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  720-725
    摘要: 为了降低电容式石墨烯压力传感器的成本,对石墨烯压力传感器的结构与工艺进行研究,简化加工工艺步骤,设计并制作出石墨烯传感器样片,该传感器样片的灵敏度分为多个区间,最高可达608 MPa-1.首...
  • 作者: 刘双印 周国富 罗智杰 范俊均 谢淑婷 陈统班
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  726-733
    摘要: 基于介电润湿(EWOD)效应的数字微流控技术是近十年来出现的一种能够在平面上操控体积为微升、纳升级别液滴的新技术.为了满足对数字微流控中液滴精准驱动与控制的迫切需求,结合现有的液滴定位方法的...
  • 作者: 宋朝辉 李昕欣 鲍海飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  734-744,753
    摘要: 采用自由落杆冲击法对悬臂梁型高量程加速度计(50 000g)的横向响应进行研究.钢杆和铝合金杆作为冲击体与地面上放置的金属钢砧碰撞产生应力波作为激励源,用于表征加速度计的性能,其中加速度计固...
  • 作者: 徐青 李珂 王晗 陈池来
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  745-753
    摘要: 车用汽油质量及泄漏问题严重影响人们的出行安全和生活环境.基于微电子机械系统(MEMS)工艺制备了高场不对称波形离子迁移谱(FAIMS)分析器,提出了基于FAIMS峰位置差异的不同标号汽油一维...
  • 作者: 孙虎 李锁印 梁法国 许晓青 赵琳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  754-760
    摘要: 论述了线距标准在扫描电子显微镜(SEM)类测量仪器校准中的重要性和作为标准物质的基本要求,指出了纳米线距标准物质的研制和表征在纳米量值溯源体系中的重要作用.通过材料选择、结构设计和制作工艺优...
  • 作者: 冯亚南 李锁印 赵琳 韩志国
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年9期
    页码:  761-765
    摘要: 针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块.该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10...
  • 作者: 崔艳霞 张叶 李国辉 王启航 王文艳 郝玉英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  769-775
    摘要: 窄带滤色片是一种在可见光波段选择性地反射或者透射特定波长的可见光而呈现不同颜色的常用光学元件,在液晶显示、光通信、传感探测和成像等多个领域得到广泛应用.综述了金属亚波长光学结构窄带滤色片的研...
  • 作者: 周志涛 孙龙 蔡晓晴 高子涵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  776-782
    摘要: 针对传统衍射光学元件(DOE)与MEMS加工工艺难以兼容、传感应用方面灵敏度低的问题,提出了一种基于基因重组蛛丝蛋白材料、利用热纳米压印工艺制成的多层级瞬态可溶DOE.重组蛛丝蛋白性能可按需...
  • 作者: 张瑜 李春龙 艾迪 邹兴奇 霍宗亮 靳磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  783-788
    摘要: 在3D NAND闪存的分布式编程擦除循环实验中发现,存储单元的保持特性随着编程擦除循环周期间隔的增加而改善.对实验数据的分析表明,编程擦除循环周期间隔中发生了损伤恢复,且在损伤恢复的两个机制...
  • 作者: 刘彩池 李英 梁李敏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  789-796,805
    摘要: GaN基稀磁半导体材料具有高于室温的铁磁性和优异的光电性能,在半导体电子自旋器件领域有广阔的应用前景.系统地介绍了制备方法对稀土Gd掺杂GaN基稀磁半导体材料铁磁性的影响,讨论了Gd掺杂Ga...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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