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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 选取不含H2的SiCl4/O2混合气体作为反应源气体,并利用普通的PECVD技术来实现低温沉积Si基微米厚度的SiO2薄膜,测试并分析薄膜的红外吸收谱以及工艺参数对沉积过程的影响.
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62. 环境扫描电子显微镜的关键技术刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 环境扫描电子显微镜在气体压力高达6600 Pa,温度高达1500℃,具有任何气体种类的多气环境里,都可提供高分辨率的二次电子成像.如此优良性能的获得,取决于两项新技术:一是将柱形电子导管的真...
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63. 真空粉末绝热容器检漏方法之探讨刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 以我国批量生产真空粉末绝热容器的实际情况为例,并通过数据计算分析,认为对真空粉末绝热容器可以用静态升压法考核夹层总气载,再结合分子筛的吸附作用来满足容器使用寿命的要求.目前,这种方法广泛地运...
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64. 真空条件下减少制革污染的实验研究刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 为了解决制革中的污染问题,在真空条件下,对制革重点污染工序--脱毛、铬鞣以及废液循环使用进行了实验研究.结果表明,脱毛、铬鞣化工材料用量可减少20%,废液排放总量可减少40%～50%,取得显...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要： 文章分析了影响提高罗茨真空泵最大允许压差因素,提出了解决方法.介绍了带溢流阀罗茨泵的特点和溢流阀压差的试验方法,明确提出应对带溢流阀罗茨泵考核溢流阀压差.
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66. 第十讲:真空密封刊名： 真空发表期刊： 2001年4期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 报道了中频双靶反应磁控溅射制备二氧化硅(SiO2)薄膜的装置、工艺及薄膜特性.对制备的SiO2薄膜的化学配比和元素化学态进行了SAM和XPS分析,测试了膜层对钠离子(Na+)阻挡性能、光学折...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 等离子体显示器(PDP)是最有发展前景的新一代显示器件,MgO膜是其制造工艺中的一个瓶颈.本文结合PDP的发展,综述了近年来MgO膜层镀制与测试工艺的进展,讨论了PDP对保护膜性能的要求.P...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 为保持角膜在真空冷冻干燥(以下简称冻干)过程中的活性,减少其内皮细胞的损伤,本文分析了冻干实验中前处理、预冻、干燥和复水检测等过程中,传热传质规律对角膜内皮细胞造成损伤的原因,在改进工艺参数...
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70. 蒸发镀热反射幕墙玻璃及其性能研究刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 热反射幕墙玻璃是现代化建筑标致性的材料之一.采用热蒸发镀膜与磁控溅射一样也能生产出性能优良的幕墙玻璃.用特殊的前处理和后处理手段弥补热蒸发镀膜附着力差的缺陷.对蒸发和质量分布经计算机模拟,设...
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71. 涡轮分子泵电源制动单元的研究刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 研究了涡轮分子泵电源制动单元的设计、制动功 率和制动电阻的计算方法。为涡轮分子泵选用理想制动电阻提供依据。根据此设计和计算方 法为我公司生产的FD系列涡轮分子泵电源选用了最佳的制动电阻，使涡...
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72. BEPC对撞区真空系统改进刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： BEPC对撞区真空系统是储存环真空系统中最重要的部分之一,对撞区真空系统的性能直接影响着用于高能物理实验的谱仪探测器的本底,因此提高对撞区的真空度非常重要.本文提出了在靠近对撞点的附近安装N...
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73. 新型真空熔炼设备的研究刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 对真空原位反应合成炉的工作原理及其结构特点作了系统介绍,着重解决了真空冶金熔炼中加入微粉料的难题,采用了特殊的机械传动方式,利用压力差及惰性气体携带的方法将微细粉料加入熔池中并采用变频装置增...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 介绍了三工位片式钽电容器真空预烧炉的基本结构、工作原理及钽电容器阳极块真空预烧的工艺过程,并对该设备在片式钽电容器制造行业的意义进行了阐述.
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75. 气动组合台真空吸附机械手系统设计刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 利用真空阀式吸附机械手在气动组合台上搬运薄铜板件,取得了良好的效果.介绍了气动组合台的真空阀式吸附系统的工作原理,技术特点,吸力和吸着响应时间的设计计算,以及元件选用.
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76. 真空设备维修问答刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 多年来真空设备的用户常常反映使用中存在这样那样的问题,或者由于操作不当,或者由于缺乏经验,往往使用户感到头痛.本人根据这一客观要求,结合自己维修工作中积累的一些经验写出这篇问答常识,供广大用...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 叙述了在自动化生产线上,搬运机设备的真空吸头在没有吸起被搬运的物体时,真空开关不报警,导致被搬运物体损坏,甚至引发不安全的故障现象.对此故障进行了分析,并提出了相应的解决方法.
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刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要： 介绍了日本株式会社ULVAC公司的概况、核心技术和在中国的开发情况以及未来的发展方向.对了解日本株式会ULVAC公司及相关技术有参考价值.
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79. 第十讲：真空密封刊名： 真空发表期刊： 2001年5期页码:摘要：
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80. 特殊材料的真空热处理刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 真空热处理与可控气氛热处理、盐浴热处理相比有不少明显的特点,尤其对不锈钢等特殊材料的处理更是较佳的选择.本文针对真空热处理在精密合金(磁性、弹性材料等)、钛合金、高温合金及铜合金方面的应用进...
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81. 二氧化钒相变分析及应用刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 二氧化钒是一种热致变色材料,块体VO2在68℃时会从高温的四方晶系相变到低温的单斜晶系,而且相变可逆.由于其相变的特殊性,使VO2有广泛的应用.本文分析了二氧化钒相变晶体学、热力学和动力学特...
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82. 真空镀膜制备高温护目镜刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 采用真空镀膜的方法,制备出高温冶炼、焊接等使用的护目镜.其光谱特性是获得在可见光一定波长范围内的色带通,对紫外、红外光透过截止.可作为有色玻璃类护目镜的替代产品,真正实现其劳动防护效果.
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83. 烷/炔气低温沉积TiC黑膜的研究刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 研究输入C2H2+C3H8+Ar+N2混合气的低温沉积TiC涂层真空阴极电弧离子镀技术,研究结果表明:TiC涂层层深0.005～0.0025mm,涂层硬度2800～3500 Hv0.02,主...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪、X射线能谱(EDS)和俄歇电子能谱仪(AES),研究了基片偏压对磁控溅射沉积Al-Zn镀层组成和结构的影响.随着基片偏压的增加镀层的Zn含量呈降低趋势,...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 一种新型的MOCVD(Mettalic Organism CVD)装置,既金属有机化合物CVD沉积装置.该装置具有结构简单,在低温、低压条件下能够实现化学气相沉积反应.气路系统全部采用进口零...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 采用直流磁控溅射法先在釉面砖上镀制一层Ti膜,然后采用阳极氧化法制备透明的TiO2薄膜.根据光的干涉原理,控制TiO2膜的厚度,制备了土黄、深兰、浅兰、金黄、粉红、紫红、绿色等十余种颜色的金...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 用磁控溅射镀膜技术镀制太阳能集热管的涂层研究结果表明,用单一的铝靶极及氮气、乙炔气体等材料,经直流反应和非反应溅射,在玻璃管上镀制α-C∶H/Al-N/Al选择性吸收涂层,其太阳吸收比αS=...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 介绍一种新型嵌固叶片式旋片真空泵的结构和工作原理,该真空泵包含有一个旋转缸套和一个嵌固式的隔离叶片,它不仅继承了传统旋片式真空泵体积小、重量轻以及结构简单的优点,而且与之相比还具有较小的摩擦...
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刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 为了延长RH真空脱气装置的寿命,同时增加RH系统的精炼效率,本文设计了一种RH真空循环脱气装置的新结构.使用水模型实验分析了新结构装置的环流特性,并同传统结构的RH真空脱气装置的环流特性进行...
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90. 滑阀泵不平衡力的分析刊名： 真空发表期刊： 2001年6期页码:摘要： 滑阀真空泵是一种容积式真空泵,在工业领域中广泛应用.该泵的旋转活塞平衡长期以来无精确的计算方法,其旋转活塞产生的离心力引起泵的大振动.因此降低该泵的振动长期以来是各国设计者们追寻的目标.文章...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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