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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 贝塞尔盒型能量分析仪由三部分组成:一个圆筒形电极、一个中心圆盘和两个带中心孔的侧板,该分析仪结构简单、结实,十分适用于电离规和四极质谱计上.对电离规而言,分析仪被放置于电离器及离子收集器之间...
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2. 去除光刻胶的新干法工艺刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 除去干刻或高剂量等离子注入后的光刻胶,一般是采用化学溶剂和酸类等湿刻法,以前有时采用干燥氧的等离子灰化法.然而成本高,具有危险性和污染性的化学湿刻法直接造成了环境污染,使得全球气候变暖,能源...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 具有高折射率的TiO2膜在反射型液晶显示器的关键部件高反射率背板膜系的制备中起重要作用.本文使用国内首家在线中频双靶反应磁控溅射设备进行了制备TiO2膜的探索,完成了相应的膜层测试与分析.实...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 阐述了磁力驱动技术用于真空动密封的原理、特点、磁力驱动密封装置的分类及选择等问题.并就磁力驱动真空动密封装置在国内的发展和应用等问题进行了介绍.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜, 研究了TiN薄膜的性能及其频率偏离特性. 对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 在大量试验的基础上,总结了磁控溅射中海绵的传动特性,设计了微张力海绵卷绕系统,建立了传动控制的数学模型.经大量试验和使用证明,该设计满足了磁控溅射中海绵卷绕的要求.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 变频调速器的应用越来越广泛.本文简单介绍了用变频调速器在卷绕式镀膜机中实现两段张力控制的方法,对其中的控制原理及抗干扰方面进行了简单的说明.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 主要研究在真空感应熔炼921A焊丝和HZS60B焊芯钢丝时,通过对原材料的运用、主要合金成分的控制、控制熔炼真空度降低气体含量等方面的工艺研究,找到了在真空感应熔炼条件下熔炼921A焊丝和H...
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9. 用铅强化钛合金的探讨刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 探讨铅在钛合金中的强化效果.由于铅和钛在密度、蒸汽压、熔点方面相差太大,因此带来真空熔炼含铅钛合金十分困难.因此至今尚无人对含铅钛合金的强化效果进行研究.笔者由于基本解决了这一难题,因此有可...
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10. 真空渗碳技术的进展刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 论述了低压真空渗碳(LPC)工艺和设备的最新发展,介绍了低压真空渗碳技术的优点及在工业领域的应用,指出该技术将以其显著的优点而成为未来渗碳领域的主流产品.
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11. 光电平板显示屏电子源的研制刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 光电平板显示屏对其电子源发射均匀性的要求较高,而Cs3Sb的常规工艺不能满足要求.本文报告了制备均匀性较好的Cs3Sb电子源的基本过程和对其光电特性的测试结果.目前,电子源的光电流还较小,但...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 四极质谱计用于等离子体诊断时常常面临质谱计工作上限问题和四极质谱计离子源所产生的本底组分分压强导致测量结果有较大误差的问题;为使四极质谱分析能作为等离子体诊断的常规手段,必须拓展四极质谱计测...
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13. 唇形密封圈在匀胶设备的应用刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 匀胶设备是光刻工艺中不可缺少的重要设备,设备的运转情况直接影响到匀胶及光刻片的质量.本文重点讨论了转动组件的设计及唇形密封圈的应用.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 指出新的抽速公式在扩散泵范畴内应用是正确的,在其他泵类应用时就不一定正确.
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15. 机械真空泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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16. 第十一讲:真空材料刊名： 真空发表期刊： 2003年1期页码:摘要：
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17. 低辐射膜玻璃的最新进展刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 最初开发的Low-E玻璃主要用于寒冷地区,以降低能源的消耗.但是由于双银Low-E玻璃在保持较高透光率的同时,又能反射阳光红外部分的能量,所以它亦能用于温暖地区,以节省空调的费用.本文介绍一...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 扫描探针显微技术SPM可以在原子或分子尺度上对表面进行表征和修饰,应用SPM技术可以在薄膜表面形成纳米级的信息点阵,特别适合发展超高密度的信息存储,是一种非常有希望代替传统磁存储、光存储的纳...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 通过对半导体器件电极制备的两种方法即电子束蒸发与磁控溅射镀铝的比较,详细分析了两种方法的膜厚控制、附着力、致密性、电导率和折射率等重要性能指标,测试结果分析表明磁控溅射铝膜的综合性能优于电子...
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20. 二氧化钒薄膜在智能窗方面应用研究刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 二氧化钒是一种热致变色材料,相变温度为68℃.相变前后二氧化钒光学性能有较大的变化,如二氧化钒对红外线透过率低温态时大,高温态时小.利用这一特点,在玻璃基体上沉积二氧化钒薄膜,可实现对汽车、...
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21. TiO2薄膜的制备方法及应用刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： TiO2薄膜具有良好的电学性能,优异的光学性能, 化学稳定性高,机械强度高,长期以来受到人们的关注,已经广泛应用在电子、光学、医学等方面.本文简单介绍了TiO2薄膜的制备方法及应用.
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22. 冷阴极潘宁离子源的磁路研究刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 研究了冷阴极潘宁离子源的磁路设计.在简要叙述冷阴极潘宁离子源的基本原理及其对磁场要求的基础上,考虑了在设计冷阴极潘宁离子源磁路时的关键问题和解决方法,并给出了实验结果和分析结论.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 为了满足兰州重离子加速器冷却储存环6×10-9 Pa的真空度要求,必须建立温度在200～300℃、控制良好的在线烘烤系统.主要从热电偶、加热器及绝热套;功率计算及分布;烘烤控制;样机测试结果...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 简述了HL-2A托卡马克真空系统的组成及结构特点,介绍了真空系统的烘烤运行过程.通过真空系统的烘烤性能试验后,为HL-2A装置的放电调试运行积累了经验并提供大量的试验数据.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 分析了HT-7U大型全超导托卡马克装置低温杜瓦内的真空状况,对影响真空指标至关重要的磁体主机氦泄漏漏率作了计算,介绍了在试验杜瓦成功实现超导磁体正常运行的真空调试与检漏实践.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 为了简化低温超导托卡马克HT-7U极向场线圈真空压力浸渍的模具设计和制造,降低成本和节约时间,采用袋模工艺.本文主要介绍袋模的构成、材料的选用,并通过小样实验和等截面试样实验探求HT-7U极...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 介绍用电熔镁砂制作4.5 t真空感应炉坩锅,重点介绍使用电熔镁砂的粒度配比及相应的烘炉、洗炉工艺.实践证明,不仅可以大幅度降低成本,而且炉龄稳定,容易清除粘附在坩埚壁上的渣子.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 研究了真空感应熔炼Ni基高温合金过程中的脱氮行为.实验表明在CaO坩埚精炼过程中加Al对脱氮有促进作用;加Ti则对脱氮有明显不利影响;提高熔炼真空度是促进脱氮的有力措施.
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29. ZJ5000大型罗茨真空泵的研制刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 主要介绍大型罗茨真空泵高零流量压缩比转子型线的设计方法及其提高泵最大允许压差的几个要点.
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30. 大型准无油真空除气炉的设计研究刊名： 真空发表期刊： 2003年2期页码:摘要： 基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验,对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨.
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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