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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
出版文献量（篇）
2692
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 综述了硬质薄膜材料的最新研究状况.硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展.本征超硬薄膜材料,如:金刚石、C-BN、B4C、TiB2、BC4N等的硬度可以达到50～80 GPa.纳米超晶格...
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2. 智能轴承用薄膜传感器刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 滚动轴承是机械工业的基础元件,波及机械工业各个领域.普通的轴承承受着载荷的实时工作状态很难精确测定.基于微机电的薄膜传感器智能轴承技术,能实现轴承的实时在线自诊断,防止轴承失效及其引起的机器...
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3. 软刻蚀技术及其应用刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,作为非光刻微米和纳米量级微加工方法,加工的分辨率可以达到5 nm～100 μm,它克服了传统光刻技术的缺陷,为形成和制作平面和...
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4. 有机发光器件的研究进展刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 介绍了有机电致发光器件OLED的历史,结构,材料及制作工艺;分析了发光机理及性能;展望了OLED的应用前景.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 在相对于平面磁控溅射阴极均匀区范围内安放硅片,镀膜后进行膜层厚度测试,然后计算膜层厚度均匀度.结果,片间厚度均匀性为1%～-1.7%;炉间厚度均匀性为3.5%～-2%.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法,从而实现其与INFICON IC/5晶振薄膜沉积监视器之间接口电路的转接.生产试验表明,采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动...
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7. 镀膜机的微机控制刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 设计了磁控溅射-多弧镀膜机的微机控制系统,采用PLC可编程控制器与上位机进行数据传递和控制设备的控制方式.本微机控制系统中的真空镀膜机,设计了3套孪生磁控、10套多弧和8级工艺的过程控制,具...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 应用蒸发镀膜方法,分别在室温和液氮温度(77K)玻璃基底上制备了银薄膜样品.对两种样品的微观结构和光学性质进行了对比研究,微观结构应用X射线衍射仪、扫描电子显微镜进行分析,光学性质应用椭圆偏...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 通过对双层辉光离子渗金属技术的基本电极结构研究认为:电极结构可分为平板型、空心阴极型、不等电位空心阴极型和复合型等四种形式;通过实验证实,管状零件内表面离子渗金属的电极结构是正确的.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 压电晶体阀是真空充气系统中一种微流量充气阀门.它具有流量小、开启快、可以远程控制等优点,但压电阀门的进气量难以用函数的方式准确描述,而且随着使用时间的增长往往有改变.本文介绍了一种PV-10...
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11. 高真空阀门漏率和升压率的区别刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 本文通过高真空气动挡板阀的数据分析来说明漏率和升压率在高真空范围内二者之间的差异.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 介绍了一种新型的干式螺杆真空泵的转子端面型线--双边对称圆弧型线,给出其端面型线方程.介绍了推导方法及参数计算方法,开发了计算程序并给出实例.
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13. 新型电子束熔炼炉的研制刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 本文介绍了新型电子束熔炼炉技术参数、结构、性能及其特点.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 西北有色金属研究院有一台20 kW电子束炉,真空度不稳定严重影响该该设备生产质量提高.本文在分析电子束炉真空度不稳定原因的基础上,阐述了新的真空系统控制方案及其算法.新系统真空度稳定,调节方...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 针对大型蒸汽喷射泵真空系统的运行状态的工况识别和故障诊断问题,提出了征兆向量和模糊征兆向量的概念,在此基础上给出了一种蒸汽喷射泵真空系统工况和故障的模糊模式识别的方法,并对三种故障进行了诊断...
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 对真空发生器的抽吸机理和影响其工作性能的因素进行了分析研究,并介绍了提高真空发生器吸入流量的方法.
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刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 自然伽玛测井仪在调试过程中的关键问题是光电倍增管工作点的确定,也是困绕测井仪的主要问题.本文给出了自然伽玛测井仪工作点确定方法以及自然伽玛测井仪的测井原理,设计出了自然伽玛测井仪的线路图,分...
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18. 油扩散泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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19. 第十二讲:真空工艺刊名： 真空发表期刊： 2003年6期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
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