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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
出版文献量（篇）
2692
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 首先简述原子层沉积(ALD)技术的发展背景,通过分析ALD的互补性和自限制性等工艺基础,介绍了它在膜层的均匀性、保形性以及膜厚控制能力等方面的优势,着重列举ALD在半导体互连技术、高k电介质...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响.结果表明:当Ar/O2辅助离子束能量为900 eV左右时能够有效改善I...
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3. 太阳能集热板镀膜及其设备刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 介绍了采用真空磁控溅射的方法在太阳能集热板上镀选择性吸收膜,从而使平板太阳能热水器的热效率得到提高;集热板的αS=0.91～0.96;ε≤0.1.并介绍了镀膜设备的性能.
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属Ti靶、纯Fe靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同氧流量的Fe掺杂TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上.薄膜的制备用程序控制.通过...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 采用金属铝诱导晶化非晶硅薄膜的方法制备多晶硅薄膜.研究了不同的退火温度对a-Si薄膜晶化的影响,采用XRD,Raman,SEM等测试手段分析了实验结果.实验结果发现非晶硅薄膜在400℃下退火...
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6. 涡旋真空泵的设计与操作刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 本文总结了涡旋真空泵的工作原理、设计原则与经验、制造要点和使用注意事项;介绍了涡旋真空泵的设计与加工方法;讨论了涡旋盘的加工、密封的设计与选择、间隙的确定以及泵体的动平衡等问题并阐明这些问题...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 真空高压器件脉冲老炼台由可调直流高压电源、储能器、高压脉冲变压器、高压开关、控制器、真空计、存贮示波器、限流电阻箱、极性转换器、高压击穿判别及高压脉冲分压器等构成,在线测量真空高压器件内的真...
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8. 中性束注入器真空系统设计刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 中性束注入器(NBI)真空系统的性能对束传输效率以及整个束线内相关部件的使用寿命与使用安全影响极大.本文结合中性束注入器对真空系统的要求,对真空室的结构选择及气源分布进行了分析并对各气源的气...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 在EACVD金刚石膜生长过程中,衬底温度、热丝温度、热丝电流和气源流量等是其重要的工艺参数.鉴于手动控制的不精确,采用了单片机MSP430控制热丝温度,对其他工艺参数进行了监测.介绍了计算机...
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10. 合肥光源真空控制系统刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 合肥光源(HLS)是第二代专用同步辐射光源,由200MeV直线加速器、输运线和800 MeV电子储存环组成.真空控制系统是基于EPICS (Experimental Physics and ...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 揭示了真空室压力随离子源放电电流增长,而且在不同的气流速率时的增长率不同这一现象,并对其机理进行了分析,认为真空室压力随放电电流的增长主要是离化粒子束流密度的增长引起的,当然离化粒子的平均能...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 能够准确的收集显微切割后的样品对生物显微切割技术在分子病理学研究中具有至关重要的作用,为此本文提出了一种真空吸附式微玻璃管对目标组织收集和释放的新方法.首先简要分析了几种在生物显微切割技术中...
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13. 铁电阴极电子发射研究进展刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 铁电发射是一种新型强流受激电子发射,本文综述了铁电弱发射和强发射的研究现状及其发射机理,重点分析了不同的铁电体相结构、电压脉冲激励波形、铁电发射结构以及萃取电压的波形等对铁电阴极电子发射特性...
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14. 自动真空熔压设备的研制刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 研制了一种用于生产光学纤维面板的真空熔压设备,介绍了该三工位熔压设备的结构、工艺流程及性能指标.该设备由一台移动式压机、三台真空加热炉、液压压下控制系统、水冷系统以及相应的电气控制和数据存储...
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15. 小开距真空电弧特性实验设计与研究刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 对小开距真空电弧进行了实验设计以及其特性诊断过程进行了阐述,通过实验,得到了小开距真空电弧伏安特性、相对电子密度和相对光强度分布曲线,为智能相控开关的设计提供了理论依据.
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 研究了用快淬制备的铸态和退火处理后的颗粒合金膜Co20NixCu80-x(0≤X≤20)的磁电阻和磁性能.与高Ni的样品相反的是,低Ni的样品在低温下ΔR/R上升.无论低Ni或高Ni样品的剩...
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刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要： 对蒸发冷凝法制备纳米粉体装置的加热源--真空自由燃烧氦电弧进行了研究.阐述了电弧的构造及电位分布,介绍了电弧产热的机理.在满足一定基本假设的前提下,文中给出了电弧的控制方程.运用有限元理论,...
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18. 第十四讲:真空工程用焊接技术刊名： 真空发表期刊： 2006年4期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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