论文降重
免费查重
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
真空
分享
投稿
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 为了满足目前一些读者的需要,我们较系统地介绍了前苏联这方面的有关资料.内容有电炉真空系统计算的理论基础与计算方法及有关数据,最后给出真空感应炉、真空电阻炉、真空电弧炉和电子轰击炉真空系统的计...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 本文通过测试铜合金在连续加热过程中电阻率的变化研究了铜合金的连续加热时效动力学.提出了用时效过程中电阻率的减小值△ρ作为描述时效过程的参数.在此基础上,建立了连续加热时效动力学图.在等速加热...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 应用二维准平面电路模型对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)大面积平行板电极间电势差分布均匀性进行了数值研究.计算结果表明:在等离子体存在的条件下,电极间电势差分布非均匀性与真空下相比大大...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 采用直流磁控溅射法在PI柔性衬底上制备Cu膜.通过接触角测试仪、X射线衍射仪、四探针测试仪等仪器研究了Ar+轰击时间和溅射功率对薄膜接触角、择优取向、晶粒大小及电阻率的影响.测试结果表明:随...
-
5. 磁控溅射镀膜技术的发展刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 磁控溅射由于其显著的优点应用日趋广泛,成为工业镀膜生产中最主要的技术之一,相应的溅射技术与也取得了进一步的发展.非平衡磁控溅射改善了沉积室内等离子体的分布,提高了膜层质量;中频和脉冲磁控溅射...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 对大口径镜面特别是对大口径天文望远镜镜面的镀膜时,镀膜系统的配置对膜层性能的预期指标的实现起着非常重要的作用.整个镀膜系统的配置,一般都需要根据镜面的尺寸、镀膜方案以及相关工艺参数等来专门设...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DIE)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究.实验结果表明:退火处理对Ti-DIE膜的性能具...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 应用中频反应磁控溅射设备在载玻片上制备掺铈的Al2O3薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为23sccm,氧流量为5sccm,室温下溅射时间为90分钟的条件下,通过控制薄膜中的Ce3+离子的掺...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 在不同的射频负偏压作用下,利用微波电子回旋共振(ECR)等离子体源化学气相沉积技术在单晶硅表面进行制备类金刚石薄膜研究.利用傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)和原子力显微镜(ARM)对薄膜的...
-
10. 氮化硅膜材料的技术应用与分析刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 叙述氮化硅薄膜的制备工艺、敏感机理;描述氮化硅,硅离子敏感半导体电极的结构布置、技术参数和试制过程,在氮化硅膜上增加了一层化学敏感及选择性较好的PVC(聚乙烯)薄膜;考察了电极对离子的选择性...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 实验以合金靶材在玻璃衬底上运用直流反应磁控溅射法制备了ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜样品.研究了O2气流量,衬底温度,以及反应气压和溅射功率等工艺参数对ZAO薄膜沉积速率的影响规律.结果...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 液环真空泵是广泛应用于石油、化工、冶金、矿山、电力、轻工等行业的基础设备.液环泵内的流动属于十分复杂的非稳态气液两相流动,目前还存在着能耗高、效率偏低等问题,而现有的理论分析无法准确描述液环...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： BEPCⅡ同步辐射要求储存环真空室在束流运行时具有较高的真空度,而在供光初期由于束流清扫不够,往往难以达到足够高的真空度,因而束流寿命较低.通过激活同步辐射储存环上的钛升华泵可以明显提高真空...
-
14. 设计参数对滑阀真空泵性能的影响刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 主要讨论设计参数对滑阀真空泵性能的影响,对影响滑阀泵的极限压力、抽气速率、功率及噪声等性能的因素进行了具体的分析,并提出了有利于提高滑阀真空泵性能的设计思路.间隙是影响滑阀真空泵性能的最主要...
-
15. 真空等离子体天线的基本特性研究刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 利用根据单极表面波驱动等离子体天线原理建立的等离子体天线,通过实验和理论方法验证了单极表面波等离子体天线的等离子体长度与所加射频功率的关系,主要研究了不同射频功率相同充气气压和射频功率相同不...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 真空触发开关TVS(Trggered Vacuum Suitch)是高功率脉冲技术领域的重要开关器件之一,它具有结构紧凑、介质恢复迅速、操作无噪声、工作可靠性高、环境适应性强等优点,在中压领...
-
17. 降低真空冷却失水的方法研究刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 提出相对失水率的概念,作为比较真空冷却过程中实际失水高于理论失水程度的判断依据.以水作为研究对象,采用不同的方法进行降低无效失水的实验,结果是水面上不加遮挡物时,其相对失水率高达2.0以上;...
-
刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要： 本文在建立单轴跟踪槽式太阳能集热器模型的基础上,着重分析了集热装置的热效率和火用效率,并以此为基础确定各个因素,主要是槽式集热器的聚光比、光照强度、集热流体的温升对集热效率和火用效率的影响....
-
19. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2009年2期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
真空统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
北京勘察设计
爆破
巴蜀质量跟踪
包装工程
包装世界
包装与设计
材料保护
材料导报
材料工程
材料开发与应用
材料科学技术(英文版)
材料科学与工程学报
材料科学与工艺
材料研究学报
CT理论与应用研究
磁性材料及器件
影视制作
低温工程
低温与超导
低温与特气
大众标准化
复合材料学报
福建分析测试
福建质量管理
福建质量技术监督
