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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 托卡马克装置中存在强磁场、强电场,放电过程中真空度变化迅速.为满足这种特殊环境的真空测量要求,开展了抗强干扰快速测量真空规及仪器的研究.快规使用平板电极结构,在普通热阴极电离规管的基础上增加...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分.按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程.采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽气时间,提高真空泵的利用率....
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 为保护内河水质,研发了基于真空蒸馏技术(VDT技术)的内河船舶黑水处理装置,并对其监控系统进行了详细设计.监控系统主要包括硬件模块、PLC软件模块、上位机软件模块,并重点阐述了基于模糊自适应...
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4. EBW-真空抽气系统设计刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 大抽速的真空抽气系统是大型电子束焊接设备(electron beam welding,EBW)中必不可少的组成部分.本文介绍了一个大型电子束焊设备中真空抽气系统的组成及其设计思路、方法,并对...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文主要介绍高压强分子泵在节能灯圆排车制造中的替代罗茨泵应用,经实验,减能增效效果显著,具有较大的推广意义；并以此抛砖引玉,促进分子泵在照明行业的应用,提高生产效能,降低能耗和制造成本,保证...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 在真空系统中,特定工作单元的压差控制十分重要.本文以罗茨真空机组配置的溢流阀为例,介绍了压差可调式溢流阀的设计和应用.通过该溢流阀的合理配置,可以达到保护真空机组系统中相关工作单元的操作安全...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文针对大型方形卧式真空罐进行设计及强度分析,设计出罐内壁长15 m,宽5 m,高6.5m的大型方罐,方罐罐口和罐门的法兰采用方管直接焊接成法兰的新型形式,利用有限元方法分析所设计的真空罐的...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文对机械真空泵测试中常用的几种流量计进行了讨论,尤其对喷嘴流量计从测量原理上进行了探讨,研究了减少测量误差的措施.着重对滴管流量计量程向小流量方向拓展进行了深入的研究,提出了真空滴管式流量...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 为计算航天器上两个密封舱内存在压差时相互进行压力平衡所需的平衡时间,通过压力平衡过 程的分析,建立了近似的数学模型,进行了分析计算,并通过容积缩比方法对计算结果进行了试验验证,得到了满意的...
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10. ITO靶材高温真空热压炉的研制刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文介绍了稀有金属行业ITO靶材高温真空热压炉的设备组成、主要技术参数和结构特点,并指出了该设备在稀有金属行业ITO靶材制造行业推广应用的前景.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文从制造高性能钕铁硼永磁体的工艺和设备两个方面概述了真空速凝技术(SC)的发展历程以及目前的主流技术,提出了速凝工艺与先进的氢爆(HD)、气流磨(JM)、低氧操作工艺( LOP)相结合的理...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文详细地研究了基片温度对磁控溅射沉积二氧化硅的影响,随着基片温度的增加,溅射沉积速率下降明显,薄膜的折射率也出现上升趋势,薄膜也由低温时的疏松粗糙发展为致密光滑.250℃时的溅射沉积速率仅...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 利用四靶闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)技术在石英玻璃和抛光不锈钢片两种基底上制备含有Cr、Ti和Al元素组合的各种氮化物涂层.采用摩擦磨损仪测试涂层摩擦系数,应用金相显微镜对各个涂层磨...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文介绍了一种高真空低温环境下用于薄膜光电性能研究的小型液氮低温恒温器,它能提供稳定低温并与外界隔绝的真空环境,可广泛用于薄膜材料的光学、磁热、超导和电学性能研究领域.系统通过液氮杜瓦和基片...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 采用真空磁控溅射沉积SS-AlN金属陶瓷太阳选择性吸收涂层.涂层光学功能层的制备,先采用铜靶溅射Cu红外反射层；再采用不锈钢(SS)和铝两金属靶在Ar和N2的混合气体中同时溅射沉积SS-Al...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 介绍了ZnO透明导电薄膜的基本特性,制备技术,其中磁控溅射技术和MOCVD技术是制备太阳能电池用ZnO透明导电薄膜的主流生长技术,论述了这两种制备技术的原理、技术特点、制备绒面ZnO薄膜的研...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 以Au薄膜为催化剂、ZnO与碳混合粉末为反应源,采用碳热还原法在单晶Si衬底上制备了ZnO纳米线阵列.通过扫描电子显微镜( SEM)、X射线衍射仪(XRD)、荧光分光光度计对样品的表征,研究...
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18. 溅射深度剖析的定量分析及其应用刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述.MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本工作将阴极真空电弧沉积法和磁控溅射离子镀法结合形成复合镀膜工艺,即用电弧蒸发Ti靶的同时,用磁控溅射Al靶,并通入反应气体N2,以在高速钢基底上镀制AlTiN薄膜,考察了复合镀膜方法获得的...
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20. 二氧化钛薄膜亲水性恢复研究刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 新制备的锐钛矿TiO2薄膜具有超亲水性,在使用和储存过程中超亲水性会降低.本文探究恢复亲水性的方法,采用热处理、等离子体辐照、紫外光照射等技术恢复锐钛矿TiO2薄膜亲水性,三种方法均能够有效...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa～65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 环氧树脂浇注干式变压器由于其免维护、高可靠性、无污染、难燃防火及寿命终结后可回收利用等特征而受到重视和推广,在工矿企业、电站、机场、地铁、海洋钻井平台等领域获得广泛应用.由于生产厂坐落的位置...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 以等离子体放电理论为基础,依据电子密度连续性方程,电子通量方程,电子能密度连续性方程,以及电子能通量表达式,分别运用有限元法和有限时域差分法,针对氢气直流放电过程的21种碰撞反应类型进行模拟...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要： 本文通过改变小功率红光LED的正向驱动电流,对其光谱,色品坐标,红色比等色度学参数测试,并对半高宽,主波长,色纯度进行了计算.实验表明,这些色度学参数与电流有着密切关系.红光LED随着正向电...
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25. 第十七讲 薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要：
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26. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2012年2期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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